Brooks自动化股份有限公司案例—— Brooks自动化和Galil团队成功提高了晶圆产量

时间：2022-09-16

Brooks自动化股份有限公司案例——

Brooks自动化和Galil团队成功提高了晶圆产量

在竞争激烈且要求严格的硅晶圆生产领域，产量、精度和可靠性至关重要。

日益提高的性能规格、缩短上市时间和降低成本等相互冲突的要求在不断挤压半导体设备制造商的生存空间。因此，大多数半导体设备制造商在设计他们的系统时都*使用Brooks自动化股份有限公司制造的机器人。反过来说，这也正是Brooks选择了Galil运动控制器的原因，现已将其应用于所交付的10,000多台机器人。

通过整合Galil运动控制器和Brooks专属时间优化轨迹软件的功能，Brooks成功将产量提高了33%以上。该公司的时间优化轨迹软件可以将Galil的S型加速度曲线与部分重叠的运动曲线相结合。如果没有这种加速度曲线，要实现相同的吞吐量，就需要设置更高的速度和加速度，将会导致磨损加剧和寿命缩短，并较终降低可靠性。

在制造的最后阶段，某些晶圆的价值接近数十万美元，因此，半导体行业需要的制造设备必须具有较高的可靠性和精度。而这正是Brooks所提供的。

随着一些晶圆在其较终制造阶段的价值接近数十万美元，半导体行业必须需要较可靠、较高精度的制造设备。为了满足这些严格的要求，Brooks依靠Galil成熟的架构和运动控制算法，在晶圆生产过程中始终可靠地保持精确控制。

凭借在设计、制造、特别是质量组件方面对**的不懈追求，Brooks已发展成为半导体晶圆加工领域颇具影响力的**者，成为了美国较大的晶圆加工机器人制造商。

Brooks于2002年5月完成了对PRI自动化的收购。Brooks致力于为**半导体行业提供自动化解决方案。该公司所提供的硬件、工厂/器具管理软件和专业服务，能够管理晶圆厂中的每个晶圆、刻线以及数据的活动，帮助半导体制造商提高产量、增加利润、降低成本，同时还能缩短产品的上市时间。Brooks的产品和服务几乎遍布**每个晶圆厂。

Brooks已在其交付的10,000多台晶圆加工机器人上使用了Galil运动控制器

Brooks自动化股份有限公司

加利福尼亚州山景城

18561737921

词条
词条说明
运动控制器的功能
运动规划功能实际上是形成运动的速度和位置的基准量。合适的基准量不但可以改善轨迹的精度，而且其影响作用还可以降低对转动系统以及机械传递元件的要求。通用运动控制器通常都提供基于对冲击、加速度和速度等这些可影响动态轨迹精度的量值加以限制的运动规划方法，用户可以直接调用相应的函数。对于加速度进行限制的运动规划产生梯形速度曲线；对于冲击进行限制的运动规划产生S形速度曲线。一般来说，对于数控机床而言，采用加速
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