AIS主动隔振系统的应用场景

时间：2023-03-22

Active Isolation System-AIS主动隔振系统

系统概述

主动隔振系统（AIS）由控制箱PLC, 气路总成Maintenance unit, 数据线CAN-Bus, 控制器16 bit-Controllers（SPC-LC), 高速电磁阀High Speed electro-pneumatic servo valves和空簧BiAir air springs and/or HAB^TM horizontal air springs所组成。

为了适用于不同的情况（承载、布局要求）,每套主动隔振系统可以选用不同型号的空簧和电磁阀进行组合。每组空簧都通过一个16位控制器（SPC-LC)和一个高速电磁阀进行单独控制。每套主动隔振系统（AIS）由较少3组（三自由度）较多6组空簧六自由度）组成。所有控制器（SPC-LC)通过线（CAN-BUS）与控制箱（PLC）相连。

每个控制器（SPC-LC)都直接安装在空簧上并且直接控制空簧的状态。控制器(SPC-LC)内含有：一个16位的微处理芯片，一个位移传感器（分辨率0.2微米），一个加速度传感器（分辨率8µg），一个气压传感器（分辨率0.2mbar）。上述所有传感器的信号采样频率为4千赫兹。其中16位的微处理芯片可通过内置的特殊算法对高速电磁阀发出相应的控制指令从而调整相连的空簧的工作状态，使得整个主动隔振系统在不需要前置反馈信号的情况下达到，实时的隔振效果。控制箱（PLC)可以通过端口（RS232)或以太网接口和电脑（PC）连接进行控制，调试和故障诊断等工作。

控制箱（PLC)可以通过端口（RS232)和电脑（PC）连接进行控制，调试和故障诊断等工作。每个控制器（SPC-LC)都直接安装在空簧上并且直接控制空簧的状态。

控制器(SPC-LC)内含有：一个16位的微处理芯片，一个位移传感器（分辨率0.2微米），一个加速度传感器（分辨率8µg），一个气压传感器（分辨率0.2mbar）。

系统特性

1、主动隔振系统（AIS）为电气式主动隔振系统，能隔离较多至6个自由度方向的振动。

2、型主动隔振系统可以较大程度的抑制共振现象。

3、在水平和垂直方向上均具有优异的位移精度控制。

4、即使在所承载设备上出现较大的载荷变化也不会有大幅度的位移变化且能在较短的时间内恢复原有的水平精度。

5、具有强大的实时控制功能。

6、在控制箱（PLC)的管理和监控下每个自由度都有一个控制器和高速电磁阀进行直接控制。

7、每个控制器（SPC-LC)都内含一个微处理器和三个传感器（位移传感器，加速度传感器，气压传感器）。

8、通过智能软件WinSNI或者WebVisufor 用户可以方便快捷的对整个系统进行优化调整和监控诊断。

9、通过数字I/O接口也可实现两种工作模式的切换：扫描模式（应用在对隔振要求较高的设备或仪器）；承载模式（应用在经常有载荷变化的设备或仪器）。

10、*设备提供前反馈信号。

数据线CAN - Bus,

气管和电磁阀连接线

PLC 19寸控制箱

Air Box –气路总成

BZLK -垂直空簧

控制器SPC-LC-2

FESTO MPYE电磁阀（费斯托MPYE系列电磁阀）

水平空气轴承（带水平空簧）

、无热辐射，电磁等干扰，与压电陶瓷或音圈电机等类型的主动系统相比耗电量很小。

应用领域主动隔振系统主要应用在高精度测量检测设备上或存在高动态力影响下的精密测量测试设备，例如：图形处理设备，激光设备，高精度电子显微镜或具有在线检测功能的半导体生产设备。当传统空簧和机械式水平控制阀不能满足设备的隔振效率或反应时间等更高要求时，主动隔振系统则成为可以选择的方案。

词条
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