HVA 真空闸阀在气体管路系统应用

时间：2023-05-23

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美国 HVA 真空闸阀在气体管路系统应用
半导体工厂, 太阳能光伏, LED, 镀膜等行业在工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统(真空管路)的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 美国 HVA 真空闸阀广泛用在气体输送环节 (气体管路系统) , 起到真空隔离密封作用.

美国 HVA **过40年的阀门研发生产经验, 上海伯东美国 HVA 闸阀口径 DN 16 至 800 mm, 手动或气动控制, **高真空 1x10-10 mbar, 与友厂对比, HVA 闸阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 了虚漏的可能, 小漏率 < 2x10-9 mbar l/S, 使用寿命 1,000,000 次(启闭次数). 上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区一总代理商.

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上海伯东美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用
半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体,气体管路系统(真空管路)的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA&nb
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