HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机

时间：2023-05-23

因产品配置不同，价格货期需要电议，图片仅供参考，一切以实际成交合同为准。

HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机

E-Beam 电子束蒸发镀膜机用于在半导体, 光学, **导材料等行业的研究与生产, 比如基片蒸发沉积金属, 导电薄膜, 半导体薄膜, 铁电薄膜, 光学薄膜和介质材料.

E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验**般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到光滑和均匀的表面.

HVA 高真空闸阀应用
科研用镀膜机的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求达到 5*10-7mbar或 5*10-8mbar, 通过使用高真空阀门对 LOADLOCK 与主腔间进行真空隔离, 一方面不会污染基片, 另一方面也使主腔好的维持真空, 对于多腔室联用的系统, 同腔室的隔离为关键, 而且要保证阀门的足够密封, 稳定可靠才行. 上海伯东是美国 HVA 真空阀门中国总代理.

上图为美国 HVA 真空闸阀应用于某品牌 Sputtering + E-Beam PVD 联用系统, 阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.

上海伯东美国 HVA 高真空闸阀 11000 系列产品
尺寸范围: 0.625”-24”ID ( DN 16mm-DN 600mm)
接口类型: CF(英制) / ANSI / KF / ISO-F / CF(公制 )/ JIS / ISO-K多种接口可选
对于气动规格, 电磁阀可选: 24VDC, 120VAC, 220VAC, 24VAC

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士，分机134

词条
词条说明
上海伯东美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用
半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体,气体管路系统(真空管路)的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA&nb
HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机
因产品配置不同，价格货期需要电议，图片仅供参考，一切以实际成交合同为准。HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机E-Beam 电子束蒸发镀膜机用于在半导体, 光学, **导材料等行业的研究与生产, 比如基片蒸发沉积金属, 导电薄膜, 半导体薄膜, 铁电薄膜, 光学薄膜和介质材料.E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气
美国 HVA 真空阀门中国总代理
上海伯东是美国 HVA 高真空和高真空阀门中国总代理! HVA 是美国大的真空阀门制造商, 在美国有过四十年的历史, 拥有6万平方英尺的全自动加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的真空阀门. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的阀门解决方案, 其中高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各
HVA 真空阀门71000系列, 适用于苛刻的真空环境, 易于维护
说到真空阀门, HVA 是绕不开的, HVA 真空阀门是行业的者. HVA真空阀门包含HVA 真空矩形阀、HVA 真空闸阀, 真空插板阀、HVA 真空角阀等. 在 HVA 真空阀门中 71000 系列阀门, 凭借其在 HVA 阀门中广为人知的性和性, 使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数. HVA 真空阀门 71000 系列由坚固的不绣