Tetra-150-LF型 等离子清洗/刻蚀机 * 真空舱体 W400 mm × H600 mm × D625 mm (150 升) * 分层(较多到16层) 电极-托盘 * 不锈钢舱体 * 40KHz 射频发生器 * 高效针孔电极 * 双气路,针阀 * 全自动控制 * 功率连续可调 0-2500W * 自动阻抗匹配 * 电磁阀保护,回流油雾不能进入舱体 * 规格:W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm * 电源:AC 380V/50Hz 选装件:* 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 旋转圆筒舱体(适用于处理颗粒状样品) 详情参见配件选装指南 ? 13.56MHz射频发生器 ? 2.45GHz射频发生器 ? 半自动控制系统 ? 全自动控制系统- 操作轻松简便的控制系统 ? 计算机(PC)控制系统- 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 ? 附加气体通路 ? 自动真空舱门 ? 设备自动门 ? 条码阅读器 ? 偏压测量系统 ? 碟型阀 ? 排气过滤系统 ? 适用于腐蚀性气体系统 ? 舱体托盘可订做 - 适合舱体的较佳尺寸 ? 粉末处理装置 ? 法拉*容器 ? 气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体 ? 玻璃舱体(硅酸盐或石英) ? 预热板 ? 等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中 ? 真空泵抽气入口过滤器 ? 标签打印机 ? 标签阅读机 ? 加深舱体 ? 单体瓶 - 轻松的控制不稳定的液体含量 ? 网络连接系统 ? 聚合处理附件 ? 气瓶出气减压阀 ? 石英玻璃皿 ? 卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等 ? RIE电极(适用于刻蚀) ? 旋转舱体系统- 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理 ? 安全阀 ? 服务条约- 使用易燃、易爆性气体,例如:氢气、乙炔… ? 附加的配件 ? 特殊的电极和托盘 ? 特殊法兰/附加法兰 ? 特殊软件 ? 特殊真空舱体 ? 过程温度测量 ? 测试墨水(用于测试表面接触角) ? 真空泵系统 等离子清洗应用领域: 金属---去除金属表面的油脂,油污等**物及氧化层 汽车制造---用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理 纺织品生产---用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理 生物医疗---培养皿提高活性,血管支架,注射器,导管和各种材料的亲润,交合涂覆前处理。 航空航天---绝缘材料,电子元件等表面涂覆前处理 电子---线路板的清洗和蚀刻。胶片,PP等材料的无氧化和活化处理,改进可焊性 半导体行业---晶圆加工及处理去除光刻胶,封装前预处理 LED---支架清洗封装前预处理 塑料橡胶- --提高PS,PE,PTFE,TPE,POM,AS和PP等材料表面活性,使其利于粘接,印刷。 等离子清洗机应用:1.表面活化/清洗; 2. 等离子处理后粘合; 3. 等离子蚀刻/活化; 4. 等离子去胶; 5. 等离子涂镀(亲水,疏水); 6. 增强邦定性.
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