APR系列大气压等离子表面处理机

时间：2018-12-18

等离子体处理作为一种新式的外表处理技能,近几年来跟着各行各业运用的不断深入，已逐渐被大众所熟知。可是，等离子清洗技能自身并非混为一谈，大同小异。在不一样的国家，不一样的厂家之间，各自开展出了不一样类型，不一样功用的等离子体清洗技能。烟台金鹰科技有限公司供给的APR系列大气压等离子清洗机，不一样于其它的等离子清洗机，因其共同的技能特色，在近来五年内业已变成职业新的开展方向。
1.大气压等离子清洗机的分类
1.1 Corona 电晕等离子
通常选用空气或许氮气（N2)作为发作气体。特色是气体的需求量十分高，运用氮气时一般需求配备专门的大功率氮气发作器，工业上常用RF射频作为激起动力，频率在40KHZ左右。等离子作业形状以炬式较为多见，条状放电形式使得外表处理后均匀性不高。设备作业进程中会发作**支的臭氧与氮氧化物等对人体有害的气体，必需求配套气体吸出体系一起作业。由于上述特性，Corona 等离子首要适用于对处理效果请求不高，而且后续运转本钱低的职业（可运用空气），比方纺织业等。
1.2 Glow 辉光等离子
首要分为两种方法，即腔式与大气压式，此两种等离子技能均为直接式等离子清洗机。
腔式Glow等离子清洗机的特色是需求一个关闭的腔体，电内置于真空腔体中，作业时首先用真空泵将腔体内空气吸出构成类真空环境，然后等离子在全部腔体中构成并直接对在内的资料进行外表处理。此种腔式等离子的处理效果要优于corona 等离子。后续运转本钱较高，首要原因是其真空泵接连作业的功耗较大。另外每次作业时真空环境制造进程需求的时刻较多，对选用自动化生产线及请求处理功率的工业范畴来说，局限性较显着。
另一种大气压辉光式等离子技能（AP**SMA）,即我司供给之设备,是以RF射频作为激起动力，作业频率是13.56MHZ。选用氩气(Ar)作为发作气体，氧气或许氮气作为反响气体。该等离子清洗机的特色是：
1. 均匀度高。大气压等离子是辉光式的等离子幕，直接效果于资料外表，试验证实，同一资料不一样方位的处理均匀性很高，这一特性对于工业范畴进行下一环节的邦定、涂膜、印刷等制程十分重要。
2. 效果可控。大气压等离子清洗机有三种效果形式可选。一是选用氩气/氧气组合，首要面向非金属资料而且请求较高的处理效果时选用。二是选用氩气/氮气组合，首要面向待处理商品有不能被处理的金属区域，因氧气的强氧化效果，替换为此计划中的氮气后，该疑问能够加以操控。三是只选用氩气的状况，只选用氩气也能够实现外表改性，可是效果相对较低。此种状况较特别，是少量工业客户需求有限的一起均匀的外表改性时选用的计划。
3. 安全易用。大气压式等离子清洗机，也是低温等离子，不会对资料外表形成危害。无电弧，*真空腔体，也*有害气体吸出体系，长时刻运用并不会对操作人员形成身体危害。
4. 面积宽大。大气压等离子大能够处理2m宽的资料，能够满意现有大都工业资料的外表处理需求。
5. 本钱低廉。大气压等离子设备功耗低，运转本钱以气体为主。以首要消耗气体氩气为例，同corona等离子气体消耗量比较缺乏其1/20.
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词条
词条说明
等离子清洗机对晶圆的预处理
等离子清洗机用于晶圆级封装的预处理，去除表面矿物质，减少氧化层，增加铜表面粗糙度，plasma等离子清洗机能通过等离子产生的自由基将高分子聚合物去除干净，包括在很深且狭窄尖锐的沟槽里的聚合物。而且能将很深洞中或其他很深地方将光刻胶的残留物去除掉.等离子清洗机的表面处理能够去除表面光刻胶和其余**物，也可以通过等离子活化和粗化作用，对晶圆表面进行处理，能有效提高其表面浸润性。相比于传统的湿式化学方法
等离子活化机，等离子清洗机的详细应用领域
等离子活化机,等离子清洗机技术几乎适用各种领域的工业应用,能为不同材料或者复合材料提供后续的粘接,涂装,印刷前处理,使两种不同材料有效而又可靠的结合在一起. 等离子表面处理技术可以和多种不同的后续加工工艺相配合，其中较为典型的后续加工包括印刷，粘接，涂装。等离子技术几乎适用各种领域的工业应用，能为不同材料或者复合材料提供后续的粘接，涂装，印刷前处理，使两种不同材料有效而又可靠的结合
等离子清洗机去除光学元件污染物
光学元件等离子清洗去除表面**污染物光学元件等离子体清洗机去除附着的**污染物，恢复元件的光学性能和表面形貌，同时不能降低其抗污染性能。等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合
等离子清洗机用于陶瓷涂层表面电镀前
陶瓷涂层表面电镀前采用等离子清洗机，去除**污染物，提高镀层质量。等离子清洗机可以几秒钟即可润湿表面，使均匀的无溶剂墨水具有良好的印刷附着力。等离子体清洗机处理是一种固有的冷加工工艺，对热敏材料同样适用。等离子体清洗机处理特别适合复杂三维形状的表面清洗活化处理，例如金属、玻璃和陶瓷等行业。等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、