等离子体处理作为一种新式的外表处理技能,近几年来跟着各行各业运用的不断深入,已逐渐被大众所熟知。可是,等离子清洗技能自身并非混为一谈,大同小异。在不一样的国家,不一样的厂家之间,各自开展出了不一样类型,不一样功用的等离子体清洗技能。烟台金鹰科技有限公司供给的APR系列大气压等离子清洗机,不一样于其它的等离子清洗机,因其共同的技能特色,在近来五年内业已变成职业新的开展方向。
1.大气压等离子清洗机的分类
1.1 Corona 电晕等离子
通常选用空气或许氮气(N2)作为发作气体。特色是气体的需求量十分高,运用氮气时一般需求配备专门的大功率氮气发作器,工业上常用RF射频作为激起动力,频率在40KHZ左右。等离子作业形状以炬式较为多见,条状放电形式使得外表处理后均匀性不高。设备作业进程中会发作**支的臭氧与氮氧化物等对人体有害的气体,必需求配套气体吸出体系一起作业。由于上述特性,Corona 等离子首要适用于对处理效果请求不高,而且后续运转本钱低的职业(可运用空气),比方纺织业等。
1.2 Glow 辉光等离子
首要分为两种方法,即腔式与大气压式,此两种等离子技能均为直接式等离子清洗机。
腔式Glow等离子清洗机的特色是需求一个关闭的腔体,电内置于真空腔体中,作业时首先用真空泵将腔体内空气吸出构成类真空环境,然后等离子在全部腔体中构成并直接对在内的资料进行外表处理。此种腔式等离子的处理效果要优于corona 等离子。后续运转本钱较高,首要原因是其真空泵接连作业的功耗较大。另外每次作业时真空环境制造进程需求的时刻较多,对选用自动化生产线及请求处理功率的工业范畴来说,局限性较显着。
另一种大气压辉光式等离子技能(AP**SMA),即我司供给之设备,是以RF射频作为激起动力,作业频率是13.56MHZ。选用氩气(Ar)作为发作气体,氧气或许氮气作为反响气体。该等离子清洗机的特色是:
1. 均匀度高。大气压等离子是辉光式的等离子幕,直接效果于资料外表,试验证实,同一资料不一样方位的处理均匀性很高,这一特性对于工业范畴进行下一环节的邦定、涂膜、印刷等制程十分重要。
2. 效果可控。大气压等离子清洗机有三种效果形式可选。一是选用 氩气/氧气组合,首要面向非金属资料而且请求较高的处理效果时选用。二是选用 氩气/氮气 组合,首要面向待处理商品有不能被处理的金属区域,因氧气的强氧化效果,替换为此计划中的氮气后,该疑问能够加以操控。三是只选用氩气的状况,只选用氩气也能够实现外表改性,可是效果相对较低。此种状况较特别,是少量工业客户需求有限的一起均匀的外表改性时选用的计划。
3. 安全易用。大气压式等离子清洗机,也是低温等离子,不会对资料外表形成危害。无电弧,*真空腔体,也*有害气体吸出体系,长时刻运用并不会对操作人员形成身体危害。
4. 面积宽大。大气压等离子大能够处理2m宽的资料,能够满意现有大都工业资料的外表处理需求。
5. 本钱低廉。大气压等离子设备功耗低,运转本钱以气体为主。以首要消耗气体氩气为例,同corona等离子气体消耗量比较缺乏其1/20.
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词条说明
接线盒的材质多为:PP、PET:ABS工程塑料、聚碳酸酯(PC)、ABS、玻璃纤维等新材料,对这些材料的粘合需要使用特殊的胶水,如果粘合能力不牢固,将会引发很多问题,借助等离子清洗机可以针对性处理粘接不牢等问题。等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻
在集成电路或MEMS微纳米加工前道工序中,晶圆表面会涂上光刻胶,然后光刻,显影,但光刻胶只是图形转化的媒介,当光刻后在光刻胶上形成微纳米图形后,需要进行下一步的生长或刻蚀的工艺,之后需要用某种方法把光刻胶去除。等离子体去胶机可实现此功能。它用射频或微波方式产生等离子体,同时通入氧气或其他气体,等离子体与光刻胶进行反应,形成气体被真空泵抽走 等离子清
等离子体又叫做电浆,是由有些电子被掠夺后的原子及原子被电离后发生的正负电子构成的离子化气体状物质,也有称其为物质的*四相态。等离子体相态是因为原子中激化的电子和分子无序运动的状况,所以具有适当高的能量。 (1)PCB多层板等离子刻蚀机-机理: 在真空室内部的气体分子里施加能量(如电能),由加快电子的抵触,使分子、原子的较外层电子被激化,并生成离子,或反响性高的自由基。 如此发生之离子、
等离子清洗机广泛应用于LED、LCD、LCM、手机配件、外壳、光学元件、光学镜头、电子芯片、集成电路、硬件、精密部件、塑料制品、生物材料、医疗器械、晶圆等表面进行清洗活化处理。等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子
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