福州大学离子束刻蚀机顺利验收

时间：2024-12-13作者：那诺-马斯特中国有限公司浏览：148

烈日炎炎，热情满心间！后疫情时代，NANO-MASTER工程师步履不停，一站接一站为客户提供设备安装调试服务。首站福州大学，那诺-马斯特工程师已顺利安装验收NIE-3500型离子束刻蚀机！










性能配置：

离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质，z大可支持6”晶圆。

配套美国考夫曼-罗宾逊 KDC160离子枪，650mA，100-1200V。刻蚀速率：~250A/min对Au；刻蚀均匀度：对4”片，片内均匀性优于±3%，重复性优于±3%。

样品台可旋转，转速0-30RPM精确可控；可任意角度倾斜，支持斜齿刻蚀；带水冷功能，刻蚀后易去除光刻胶。

极限真空12小时可达6x10-7Torr，15分钟可达10-6Torr量级的真空；采用双真空计，长期可靠，使用稳定。

14”不锈钢立方腔体，配套一台主控计算机，20”触摸屏监控，配合Labview软件，实现计算机全自动工艺控制，并可在电源中断情况下安全恢复；完全的安全联锁；支持百级**净间使用。




验收培训：




安装调试视频：


那诺-马斯特中国有限公司专注于磁控溅射系统,刻蚀系统,清洗去胶系统等

• 词条

  词条说明

• *远程微波PECVD系统

  Nano-Master的远程微波等离子体化学气相沉积（PECVD）系统应用范围广泛，包含：基片或粉体的等离子诱导表面改性等离子清洗粉体或颗粒表面等离子聚合SiO2,Si3N4或DLC及其他薄膜CNT和石墨烯的选择性生长单晶或多晶金刚石生长   微波模块：NANO-MASTER高质量**命远程微波源，频率为2.45GH，微波发射功率可以自主调节，微波反射功率可通过调节降

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