LASEROPTIK镀膜技术对比

时间：2023-09-22

LASEROPTIK是在20世纪80年代由Johannes Ebert博士创立，由于Ebert博士在汉诺威大学**光学研究所积累了薄膜制造和表征方面的经验，为精进镀膜技术奠定了基础。经过几十年的发展，LASEROPTIK使用许多不同的涂层镀膜技术来找到满足各种需求的解决方案，如今，有六种不同的镀膜涂层（ALD/EBE/IAD/IP/MS/IBS），每种方法都有自己的优点和缺点。

如下是六种涂层镀膜技术的详细图解：

Laseroptik的六种镀膜涂层方法分别是原子层沉积(ALD)，电子束蒸发(EBE)，离子辅助沉积(IAD)，离子电镀(IP)，磁控溅射 (MS)和离子束溅射(IBS)，这几种涂层镀膜的特点分别是柱状结构，高封装密度以及很高的薄膜一致性等，能够满足高功率反射镜和晶体涂层等的特殊要求。

图1：涂层镀膜技术原理结构图

Laseroptik镀膜技术的比较：

选择较适合每个标准重要性的涂层技术是很有必要性的，但需要了解到客户的具体需求才能更好的选择镀膜涂层技术方案。以下图示是不同特性不同应用使用哪种涂层较有效果的示意图，其中深绿色是表示特别适合，浅绿色是表示可以使用，白色是表示通常不合适。

由图我们能看出这六种Laseroptik涂层在可见光（VIS）和近红外（NIR）都特别适合，但在真空紫外（VUV）就只能推荐电子束蒸发（EBE）的涂层技术方法。综合分析，离子束溅射(IBS)是适合各种应用范围和特性的，但是性价比一般，通过这些分析，我们能够选出较合适客户需求的产品。

损伤阈值LIDT

图2：涂层比较图

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