振动标准，隔震等级，VC曲线

时间：2023-10-19

VC标准曲线（VC振动标准）由Eric Ungar和Colin Gordon于20世纪80年代初开发。它们较初是作为半导体、医疗和生物制药行业振动敏感设备的通用振动标准而开发的，但现已广泛应用于各种技术领域。VC振动标准采用了一组三分之一倍频程频带速度谱的形式，以及国际标准化组织（ISO）关于振动对建筑物内人员影响的指导方针。该标准适用于在垂直和两个水平方向测量的振动。对于某种用于安装精密设备或仪器的地基，所测得的三分之一倍频程速度谱曲线的所有频率点必须落在振动等级(VC)曲线对应的标准曲线之下。

NIST-A标准是为计量学而开发的，但在纳米技术界很受欢迎。在一些低频振动明显的场所，NIST-A标准很难达到。现在，VC标准曲线已被全世界广泛接受，可作为设计设施的基础，以满足一组对振动高度敏感的设备在一起使用时的要求。但实际上，VC-F之后的隔振等级VC曲线都不建议用作设计标准，仅用于评估。密歇根大学**低振动实验室（ULVL）于2014年竣工。建成后，对**低振动实验室箱体进行了振动调查。测量结果表明，即使只有一辆车在附近的街道上行驶，振动也**过了**低振动实验室所需的NIST-A规格。对于振动标准VC-M而言，目**般认为：VC-M是可测得的较低值，但现今还无法在此标准下进行准确的振动测量，因为现今较敏感的传感器也因为传感器的内部噪声而降低了灵敏度，无法达到VC-M振动等级的测量基准。

主动隔震台一般能将隔震等级提升一级，例如使用KNS的主动隔震台后，VC-B提升到VC-C。现如今，大部分的隔振台的隔震等级都是VC-A、VC-B、VC-C，少数的主动隔振台能到达VC-D的隔震效果。

K&S ArisMD振动标准可达VC-D，适用于电子显微镜（TEM和SEM），重量轻、结构紧凑的桌面主动隔振系统，可抵消敏感设备的有害振动，降幅可达80%-90%。流线型设计使其能够无缝地成为工作站环境的一部分，并且其简单的组成不需要后续的调整。主动隔离范围0.5-100Hz，1Hz时增益~8db，2Hz时增益~20db。

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