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半导体设备维修分析半导体设备在半导体集成电路行业应用广泛,在应用过程中半导体设备容易出现各种故障,应采用科学合理的维修措施,使半导体设备处于良好的运行状态。本文分析了半导体设备维修基本要求和基本方法,阐述了半导体设备的维修策略,以供参考。关键词:半导体设备:维修近年来,集成电路技术和通讯技术快速发展,半导体设备应用范围越来越广泛,大规模、高集成是半导体集成电路的发展方向,为了提升行业水准和整体效益
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