HVA 真空阀门用在气体管路系统

时间：2024-01-11

某半导体工厂在生产线上气体输送环节的气体管路系统采用伯东 HVA 不锈钢真空闸阀 11000 ，作为真空隔离密封.

HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:

阀门材质:
- 阀门主体	304 不锈钢
- 焊接波纹管轴封	AM - 350
阀门密封方式
- 高真空	氟橡胶
- 高真空	铜垫圈 / 氟橡胶
真空:
- 压力范围	高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9 mbar l/S
- 差压关闭	1 bar ( 任意位置 )
- 开启前大压力	≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）:
- 弹性体密封阀盖	150°C
- 金属密封阀盖	-开启温度：200°C -关闭值：150°C
- 驱动方式	手动 60 °c, 气动 60 °c
机制
手动：	手摇曲柄
电磁阀供电电压	120 VAC 50 /60 Hz
电磁阀可选电压	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
电磁阀位置指示器,大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
气动送风：	80 psig
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)
公称通径: DN 16 - 800 mm

HVA 是真空技术者的真空阀门(插板阀), 是高真空阀门的主要制造商和供应商.

在设计真空系统时, 可以轻松集成 HVA 阀门. HVA 闸阀从5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狭缝阀的大距离为80英寸（2m）, 可以满足您的真空阀门(插板阀)要求. 无论您是升级现有的真空系统还是 OEM 设计新的系统, HVA 都可以提供经济的替代阀门解决方案.

HVA 真空阀门(插板阀)的阀体和所有主要内部组件都是内部钎焊的真空炉, 了虚拟泄漏的可能性, 阀体变形小化.

40多年来, HVA 一直在建造业内质量, 设计的真空阀门(插板阀). HVA 代表着质量, 工程, 定制务.

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上海伯东 : 罗女士

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