HVA 真空阀门 11000 用在 OLED 镀膜机

    国内某 OLED 镀膜机厂家配置伯东美国 HVA 真空阀门 11000 系列,尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,
     

    HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格: 

     阀门材质:

     - 阀门主体

     304 不锈钢

     - 焊接波纹管轴封

     AM - 350

     阀门密封方式

     - 高真空

     氟橡胶

     - 高真空

     铜垫圈 / 氟橡胶

     真空:

     - 压力范围

     高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar

     - 漏率

     < 2x10-9  mbar l/S

     - 差压关闭

     1 bar ( 任意位置 )

     - 开启前大压力

     ≤ 30 mbar

     烘烤温度(不含电磁阀):

     - 弹性体密封阀盖

     150°C

     - 金属密封阀盖

    -开启温度:200°C

    -关闭值:150°C

     - 驱动方式

     手动 60 °c, 气动 60 °c

    机制

    手动:

    手摇曲柄

    电磁阀供电电压

     120 VAC 50 /60 Hz

    电磁阀可选电压

     24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
     或 12, 24 VDC

     电磁阀位置指示器,大

     115 VAC
     或 28 VDC, 20 mA

    气动送风:

    80 psig

     使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

     公称通径: DN 16 - 800 mm

     

    下图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 高真空阀门

     

    OLED 镀膜机主要面向半导体照明客户, 需要镀膜机性能稳定, 器件效, ,

    对于生产 OLED 镀膜机的客户, 为了节省抽空时间和防止基片的污染, 会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样, 由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.

     

    伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机
     

    若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

    上海伯东 : 罗女士 


    伯东企业(上海)有限公司专注于pfeiffer,氦质谱检漏仪,inTEST等

  • 词条

    词条说明

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