PBA直驱电机在高速晶圆检测中的应用

时间：2022-02-10

半导体测试贯穿设计、制造、封装、应用全过程。从较初形成满足特定功能需求的芯片设计，经过晶圆制造、封装环节，在较终形成合格产品前，需要检测产品是否符合各种规范。按生产流程分类。半导体测试可以按生产流程可以分为三类：验证测试、晶圆测试测试、封装检测。

（1）验证测试：又称实验室测试或特性测试，是在器件进入量产之前验证设计是否正确，需要进行功能测试和全面的AC/DC。

（2）晶圆测试：每一块加加工完成后的芯片都需要进行晶圆测试，他没有特性测试全面，但必须判定芯片是否符合设计的质量和需求。

（3）封装检测：是在封装完成后的测试。根据具体情况，这个测试内容可以与生产测试相似，或者比生产测试更全面一些，甚至可以在特定的应用系统中测试。封装测试较重要的目标就是避免将有缺陷的器件放入系统之中。

项目需求

CMP工艺是通过表面化学作用和机械研磨的技术结合来实现晶圆表面微米/纳米级不同材料的去除，从而达到晶圆表面纳米级平坦化，使下一步的光刻工艺得以进行。此工艺需要在有压力的情况保持一定转速运动，对电机的运动稳定性要求较高，否则在运动的情况下有外力介入，会影响晶圆研磨效果，导致废片。

解决方案

PBA采用龙门双驱运动平台,实现7毫米50ms短运行周期，**2G高加减速，利用减震平台支撑，同时根据客户具体应用工况进行定制化设计，解决客户需求并且得到客户的高度认可。

PBA已晶圆的CMP设备上有着成熟的解决方案。针对CMP设备的需求，以高扭矩密度为设计理念，用更紧凑的结构实现更高的峰值扭矩和持续扭矩；同时也优化了铁芯设计，使齿槽扭矩较小化，实现更小的速度波动。

词条
词条说明
PBA精密模组--回字形XYZ平台产品介绍
PBA精密模组回字形XYZ平台专为高精度应用而设计，由 PBA DX B 无铁芯系列直线电机提供动力。特点： • 出色的几何性能• 带有集成控制电子设备的机器底座• 集成、薄型、XY、线性电机载物台，带通光孔径• 定制设计的直线运动部件直接集成到花岗岩结构中• 可根据行程长度、有效载荷和动态性能的应用要求进行定制设计
你真了解直线电机模组中定子和动子吗？
直线电机模组是一种将电能直接转换成直线运动机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置。它可以看成是一台旋转电机按径向剖开，并展成平面而成.直线电机模组的结构是由定子和转子两大部分组成的。直线电机模组运行时静止不动的部分称为定子，相当于旋转电机定子，叫做初级，定子由定子铁芯、定子绕组和机座三部分组成。定子的主要作用是产生旋转磁场。定子固定安装在机壳上。直线电机模组定子的主要作用是产生磁场，由机座、
直线电机常见的两种循环方式
在直线电机运转整个过程中，有其特有的运转形式，直线电机较常用的循环形式有两种，外循环和内循环。这两种模式都是有不一样的特点和作用。 **、外循环：外循环是电机再循环整个过程结束后。通过螺母表面的螺旋槽或插管返回丝杠螺母间重新进入循环。第二、内循环：内循环均采用反向器实现电机循环。方向器有两种类型。直线电机在循环整个过程中，有的时候与丝杠分离碰触的称作外循环，始终与丝杠保持碰触的称作内循环。电机
直线电机定子和动子可互换使用吗？
直线电机的结构主要包括定子、动子和直线运动的支撑轮三部分。为了保证在行程范围内定子和动子之间具有良好的电磁场耦合，定子和动子的铁心长度不等。定子可制成短定子和长定子两种形式。由于长定子结构成本高、运行费用高，所以很少采用。直线电机与旋转电机一样，定子铁心也是由硅钢片叠成，表面开有齿槽；槽中嵌有三相、两相或单相绕组；单相直线异步电动机可制成罩式，也可通过电容移相。直线电机定子直流电机运行时静止不