电子级高纯水 总**碳含量
5.2普通高纯水
5.2.1普通高纯水主要考核其电阻率。
5.2.2普通高纯水的技术指标由表2给出。
表2
指 标 级 标
PH-Ⅰ PH-Ⅱ PH-Ⅲ
电阻率(25℃),MΩ,cm 12-15 8 lt;12 5 lt;8
大于lμm的微粒数,个/mL <50
总**碳含量,μg/L <500
全硅,μg/L <100
6测试方法和规则
6.1电阻率测试方法
6.1.1用电导率仪测量高纯水电阻率时:
a.电导池常数选川0.1—0.25px-1;
b.被测高纯水应处于密封流动状态,避免任何气体混入,流速不低于0.3m/s。
6.1.2在t℃时测得的电阻率值ρt,用下式换算成25℃的电阻率ρ25
ρ25=1/{αt(1/ρt-Gt)+0.05482}
式中:ρ25——25℃时的电阻率MΩ.CM
ρt——t℃时的电阻率MΩ.CM
Gt——t℃时理论纯水的电导率μS/CM,其值见附录A;
αt——t℃时修正系数,其值见附录A;
0.05482——t℃时理论纯水的电导率μS/CM。
6.2其他技术指标测量方法
执行GB11446.5~11446.11中有关规定。
词条
词条说明
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