电子行业洁净室的特点

时间：2020-01-05

电子行业洁净室的特点

电子行业洁净室在维护结构和空调系统气流组织上都有它*有的特点：

(1) 电子行业洁净室维护结构要求严密性非常高，并且要求结构尽量不产尘、不积尘。目前，洁净厂房围护结构均为夹心彩钢板，夹心层为岩棉、铝蜂窝、纸蜂窝、聚苯、聚氨酯等，根据厂房性质和业主的要求进行选择。采用上述结构后，洁净室的绝热性将大大加强，外界的热量很难通过维护结构进入室内，同时室内的热量很难通过维护结构传出；

电子行业洁净室气流分布要求很均匀。自前洁净室洁净度等级共划分为9个级别，1〜5级的气流组织为垂直或水平单向流洁净室，6〜9级则采用非单向流即乱流。其主要作用在于限制和减少灰尘对工件或工作区域的污染；

(2) 电子行业洁净室温湿度要求精度高并且恒定。由于电子产品的制造工艺对温、湿度的变化较为敏感，所以空气参数的波动要控制在较小的范围内，因此，自控系统如DDC、PLC等在洁净系统控制中有着不可忽视的作用；

(3) 电子行业洁净室洁净室内换气次数高、新风补给量大。因电子厂房工艺设备有着多种性质的工艺排风，如热、酸、碱、**气体等因排风量很大，这样就需要很大的新风来补给和维持室内的正压,从而保证室内空气不被外界污染。为了维持高洁净度就需要较多的换气次数来过滤尘埃粒子。另外，因电子行业洁净室内部产热量较大而产湿量较小的情况，故需要大量的新风带走热量。

（4）电子行业洁净室换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5—55.3次/小时（规范：50次/小时） 10,000级 23.8—28.6次/小时（规范：25次/小时） 100,000级 14.4—19.2次/小时（规范：15次/小时）

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