洁净室测试主要对象

时间：2020-01-05作者：苏州舒静仪器自控设备有限公司浏览：1137

 

洁净室测试主要对象

洁净室在日常维护中要监测对象：风量或风速检测、静压差的检测、空气过滤器泄漏测试、室内空气洁净度等级的检测，室内浮游菌和沉降菌的检测、室内空气温度和相对温度的检测等。

B．1 风量或风速的检测

B.1.1 对于单向流洁净室，采用室截面均匀风速和截面积乘积的方法确定送风量。 离*过滤器0.3m，垂直于气流的截面作为采样测试截面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于5 个，以所有测点风速读数的算术均匀值作为均匀风速。
B.1.2 对于非单向流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量，做法如下:
1 风口法是在安装有*过滤器的风口处，根据风口外形连接辅助风管进行丈量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口外形及内截面相同，长度即是2 倍风口长边长的直管段，连接于风口外部。在辅助风管出口平面上，按较少测点数不少于6 点均匀布置，使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后，以求取的风口截面均匀风速乘以风口净截面积求取测定风量。
2 对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定风量。丈量断面应位于大于或即是局部阻力部件前3 倍管径或长边长，局部阻力部件后5 倍管径或长边长的部位。对于矩形风管，是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近正方形，边长不应大于200mm，测点应位于小截面中心，但整个截面上的测点不宜少于3 个。对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相同的同心圆环，每个圆环测4 点。根据管径确定圆环数目，不宜少于3 个。

B．2  静压差的检测

B.2.1  静压差的测定应在所有的门封闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界较远的里间房间开始，依次向外测定。

B.2.2  采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。

B.2.3  有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有公道的气流流向。洞口的均匀风速大于即是0.2m/s时，可用热球风速仪检测。

B．3  空气过滤器泄漏测试

B.3.1  *过滤器的检漏，应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器。

D类*过滤器宜使用激光粒子计数器或凝聚核计数器。

B.3.2  采用粒子计数器检漏*过滤器，其上风侧应引进均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于或即是0.5μm尘粒，浓度应大于或即是3.5×10⁵pc/m ³；或对大于或即是0.1μm尘粒，浓度应大于或即是3.5×10⁷pc/m³；若检测D类*过滤器，对大于或即是0.1μm尘粒，浓度应大于或即是3.5×10⁹pc/m³。

B.3.3  *过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在间隔被检部位表面20～30mm处，以5～20mm/s的速度，对过滤器的表面，边框和封头胶处进行移动扫描检查。

B.3.4  泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检*过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成透过率，*过滤器不得大于出厂合格透过率的2倍；D类*过滤器不得大于出厂合格透过率的3倍。

B.3.5  在移动扫描检测工程中，应对计数忽然递增的部位进行不**检验。

B.4  室内空气洁净度等级的检测

B.4.1  空气洁净度等级的检测应在设计*的占用状态(空态、静态、动态)下进行。

B.4.2  检测仪器的选用：应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计算器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。

B.4.3  采样点的规定：

1  较低限度的采样点数N_L，见表B.4.3；

表B.4.3   较低限度的采样点数N_L表

测点数NL	2	3	4	5	6	7	8	9	10
洁净区面 积A(m2)	2.1～ 6.0	6.1～ 12.0	12.1～ 20.0	20.1～ 30.0	30.1～ 42.0	42.1～ 56.0	56.1～ 72.0	72.1～ 90.0	90.1～ 110.0
注：1  在水平单向流时，面积A为与气流方向呈现垂直的活动空气截面的面积。 2  较低限度的采样点数NL=A0.5计算(四舍五进取整数)。

2  采样点应均匀分布于整面积内，并位于工作区的高度(距地坪0.8m的水平面)，或设计单位、业主**的位置。

B.4.4  采样量的确定：

1   每次采样的较少采样量见表B.4.4

B.4.4   每次采样的较少采样量Vs(L)表

洁净度 等级	粒径(μm)
	0.1	0.2	0.3	0.5	1.0	5.0
1	2000	8400	—	—	—	—
2	200	840	1960	5680	—	—
3	20	84	196	568	2400	—
4	2	8	20	57	240	—
5	2	2	2	6	24	680
6	2	2	2	2	2	68
7	—	—	—	2	2	7
8	—	—	—	2	2	2
9	—	—	—	2	2	2

2  每个采样点较少采样时间为1min，采样量至少为2L；

3  每个洁净室(区)较少采样次数为3次。当洁净区仅有个采样点时，则在该点至少采样3次；

4  对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境，采样量很大，可采用ISO14644—1附录F规定的顺序采样法。

B.4.5  检测采样的规定：

    1  采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内设计气流速度；

    2  对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向；对于非单向流洁净室，采样管口宜向上；

    3  采样管**干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据答应长度确定，假如无规定时，不宜大于1.5m；

    4  室内的测定职员**穿洁净工作服，且不宜**过3名，并应阔别或位于采样点的下风侧静止不动或微动。

B.4.6  记录数据评价。空气洁净度测试中，当全室(区)测点为2～9点时，**计算每个采样点的均匀粒子浓度C_i值、全部采样点的均匀粒子深度N及其标准差，导出95%置信上限值；采样点**过9点时，可采用算术均匀值N作为置信上限值。

1 每个采样点的均匀粒子浓度C_i应小于或即是洁净度等级规定的限值见表B.4.6-1。

表B.4.6-1   洁净度等级及悬浮粒子浓度限值

洁净度等级	大于或即是表中粒径D的较大浓度Cn(Pc/m3)
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1.0μm	5.0μm
1	10	2	—	—	—	—
2	100	24	10	4	—	—
3	1000	237	102	35	8	—
4	10000	2370	1020	352	83	—
5	100000	23700	10200	3520	832	29
6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
7	—	—	—	352000	83200	2930
8	—	—	—	3520000	832000	29300
9	—	—	—	35200000	8320000	293000
注： 1  本表仅表示了整数值的洁净度等级(N)悬浮粒子较大浓度的限值。 2  对于非整数洁净度等级，其对应于粒子粒径D(μm)的较大浓度限值(Cn)，应按下列公式计算求取。 3  洁净度等级的粒径范围为0.5～5.0μm，用于定级的粒径数不应大于3个，且其粒径的顺序级差不应小于1.5倍。

2  全部采样点的均匀粒子浓度N的95%置信上限值，应小于或即是洁净度等级规定的限值。即：式中  N──室内各测点均匀含尘浓度，N=∑C_i／n；

n──测点数；

s──室内各测点均匀含尘浓度N的标准差：

t──置信度上限为95%时，单侧t分布的系数，见表B.4.6-2。

表B.4.6-2    t系数

点数	2	3	4	5	6	7～9
t	6.3	2.9	2.4	2.1	2.0	1.9

B.4.7  每次测试应做记录，并提交性能合格或分歧格的测试报告。测试报告应包括以下内容：

    1  测试机构的名称、地址；

    2  测试日期和测试者签名；

    3  执行标准编号及标准实施日期；

    4  被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图；

    5  被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径(或沉降菌、浮游菌)、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压型；

    6  丈量用的仪器的编号和标定证书；测试方式细则及测试中的特殊情况；

    7  测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度(或沉降菌、浮游菌的菌落数)；

    8  对异常测试值进行说明及数据处理。

B．5  室内浮游菌和沉降菌的检测

B.5.1  微生物检测方法有空气悬浮微生物法和沉降微生物法两种，采样后的基片(或平皿)经过恒温箱内37℃、48h的培养天生菌落后进行计数。使用的采样器皿和培养液**进行消毒灭菌处理。采样点可均匀布置或取代表性地域布置。

B.5.2  悬浮微生物法应采用离心式、狭缝式和针孔式等碰击式采样器，采样时间应根据空气中微生物浓度来决定，采样点数可与测定空气洁净度测点数相同。各种采样器应按仪器说明书规定的方法使用。沉降微生物法，应采用直径为90mm培养皿，在采样点上沉降30min后进行采样，培养皿较少采样数应符合表B.5.2的规定。

表B.5.2   较少培养皿数

空气洁净度级别	培养皿数
＜5	44
5	14
6	5
≥7	2

B.5.3  制约厂洁净室(包括生物洁净室)室内浮游菌和沉降菌测试，也可采用按协议确定的采样方案。

B.5.4  用培养皿测定沉降菌，用砬撞式采样器或过滤采样器测定浮游菌，还应遵守以下规定：

    1  采样装置采样前的预备及采样后的处理，均应在设有*空气过滤器排风的负压实验室进行操纵，该实验室的温度应为22±2℃；相对湿度应为50%±10%；

    2  采样仪器应消毒灭菌；

    3  采样器选择应审核其精度和效率，并有合格证书；

    4  采样装置的排气不应污染洁净室；

    5  沉降皿个数及采样点、培养基及培养温度、培养时间应按有关规范的规定执行。

    6  浮游菌采样器的采样率宜大于100L/min；

    7  碰撞培养基的空气速度应小于20m/s。

B．6  室内空气温度和相对温度的检测

B.6.1  根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。每次测定间隔不应大于30min。

表B.6.1   温、湿度测点数

波动范围	室面积≤50m2	每增加20～50m2
△t=0.5±～±0.2℃	5个	增加3～5
△RH=±5%～±10%
△t≤±0.5℃	点间距不应大于2m，点数不应少于5个
△RH≤±5%

B.6.2  室内测点布置：

    1  送回风口处；

    2  恒温工作区具有代表性的地点(如沿着工艺设备四周布置或等间隔布置)；

    3  没有恒温要求的洁净室中心；

    4  测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m，离地面0.8的同一高度上；也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。

B.6.3  测点数应符合表B.6.1的规定。

表B.6.1   温、湿度测点数

波动范围	室面积≤50m2	每增加20～50m2
△t=0.5±～±0.2℃	5个	增加3～5
△RH=±5%～±10%
△t≤±0.5℃	点间距不应大于2m，点数不应少于5个
△RH≤±5%

B.6.4  有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中控制点温度的较大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如90%以上测点偏差值在室温波动范围内，为符合设计要求。反之，为分歧格。

    区域温度以各测点中较低的一次测试温度为基准，各测点均匀温度与**偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累计统计曲线，90%以上测点所达到的偏差为区域温差，应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。


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