洁净室无尘室定义标准

时间：2020-01-05

洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。

「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除

，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控

制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，

其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室较主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，

使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。

**均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和

世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。

209E与209D等较大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头

表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉

伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，

若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。

美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公

尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3

……Class8表示，较好的等级为Class 1，较差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总

数中化为10的幂次方，取其指数而得。

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词条说明
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