江西XP-703D半导体特气检漏仪选购指南

时间：2016-12-18

作者：南昌星枫仪器有限公司

XP-703D半导体特气检漏仪性能参数

﹡较适合于检测半导体特气的微量泄漏。

﹡采用声光报警。

型号 XP-703D

检测对象气体半导体材料气体等）

检测原理线型半导体式

采样方式自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）

AsH3　　　PH3　　　B2H6　　　SiH4　　H2

0.2　　　0.3　　　0.1　　　0.5　　1.0

检测表示蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度 10秒以内

词条
词条说明
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