晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨**技术

时间：2020-07-14

晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨**技术



晶圆研磨机-OKAMOTO冈本GNX200B特点：
·GNX200B拥有BG贴膜研磨**技术。
·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·*修砂可持续进行高效平坦化加工。
·耗材损耗小，成本低廉。
·研磨废料精细减轻废水处理负担。
·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。



OKAMOTO GNX200B晶圆研磨机规格：
规格	            GNX200B	    GNX300B
较大加工直径	    Ф200	    Ф300
轴承旋转数	    0~3600min-1	    0~3000min-1
轴承驱动电机	    2.2/4 Kw/P	    5.5/4 Kw/P
轴承进给速率	    1~999μm/min
主轴数	            2
工作轴旋转数	    1~300min-1
轴承尺寸（外径）    Ф250	    Ф300
质量	            3900mm	    5700mm


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