OKAMOTO晶圆研磨机GNX200B同时实现BG贴膜

    OKAMOTO晶圆研磨机GNX200B同时实现BG贴膜
    
    
    
    OKAMOTO晶圆研磨机GNX200B特点:
    ·GNX200B拥有BG贴膜研磨**技术。
    ·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
    ·*修砂可持续进行高效平坦化加工。
    ·耗材损耗小,成本低廉。
    ·研磨废料精细减轻废水处理负担。
    ·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。
    
    
    
    GNX200B晶圆研磨机规格:
    规格	                    GNX200B	    
    较大加工直径	    Ф200	   
    轴承旋转数	    0~3600min-1	
    轴承驱动电机	    2.2/4 Kw/P	
    轴承进给速率	    1~999μm/min
    主轴数	                    2
    工作轴旋转数	    1~300min-1
    轴承尺寸(外径)          Ф250	   
    质量	                    3900mm	  
    
    
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    词条说明

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