【衡鹏代理】**薄晶圆临时键合wafer bonder

时间：2021-03-17

【衡鹏代理】**薄晶圆临时键合wafer bonder
**薄晶圆临时键合应用于晶圆临时性键合/解键合（Wafer Bonding/Debonding)工艺



**薄晶圆临时键合wafer bonder特点：
4”-8”/8”-12”晶圆适用，支持较薄化晶圆的键合。
可选真空热压/UV/激光等键合方式
键合机智能测绘料篮内晶圆，兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料。
键合机支撑晶圆、产品晶圆进行自动对准
**薄晶圆临时键合机可自动完成晶圆键合（Wafer Bonding)工艺。
可选配晶圆键合后的在线检测功能
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力



wafer bonder**薄晶圆临时键合规格：
贴片机	                               Wafer Bonder
键合晶圆尺寸	                4”-8”/8”-12”
支持体基板	                玻璃
键合装置：真空热压/UV/激光	定制
粘贴装置	                                搭载
晶圆盒形式	                兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料
其他	                                SECS/GEM 或简易联网能力



**薄晶圆临时键合wafer bonder相关产品：
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**薄晶圆支持系统/50μm**薄晶圆需要临时键合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/wafer debonder/晶圆键合/晶圆临时键合

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词条说明
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