LED-半自动UV照射机STK-1020专门用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等

时间：2021-04-14

LED-半自动UV照射机STK-1020专门用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等



LED-半自动UV照射机STK-1020概要：
半自动LED-UV照射机STK-1020专门用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等产品切割后的解胶工序，采用手动上下料方式，配备触摸显示屏，操作方便快捷。机台的LED UV工作模组可发出波长为365nm的紫外光对产品进行照射解胶。UV照射能量出厂较大设置为450mW/cm2。同时设备配置有UV安全保护装置。



UV照射机STK-1020产品规格：
物料规格：可支持 6”~12”Frame 
UV单元：1 套 LED UV 模组
UV波长：365 nm
UV照射能量：50～450 mW/ cm2，照射能量实时监测，能量可程序调节。 
UV照射均匀性：<=±10 %
UV照射时间: 0～999sec,程序可设定
扫描速度：0～100 mm /s, 程序可设定
灯箱温度：实时监控灯头和灯箱温度
UV灯类型：LED 型冷光源，能量强，寿命长，能耗低，发热量小
控制单元：PLC 和触摸屏
上料/下料：手动
电源：单相 220V, 6A
气体：氮气可选配
设备外壳：白色喷涂外壳
设备尺寸：780mm(宽) x 620mm(深) x 300mm(高) 
设备净重：约 300kg
晶圆良率：>=99.99%
更换产品时间：<=5 分钟





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