全自动晶圆贴膜机STK-7200V 衡鹏供应

时间：2021-04-26

全自动晶圆贴膜机STK-7200V 衡鹏供应


全自动晶圆贴膜机STK-7200V特点：
Special vacuum mounting technology without roller (Roller mounting Optional)
Configure with multi link wafer transfer robot
Bernoulli arm for thinner wafer handling
Wafer position & warpage intelligent mapping
Fiber sensor for wafer alignment
Contact chuck to handle various wafer 
Wafer cassette loading (Wafer Box Optional)
Industrial PC control with 17’touch panel LCD
Built-in Ionizers for ESD protection
Non-UV & UV tape capability



全自动晶圆贴膜机STK-7200V规格：
Wafer Size                         Diameter:4” , 5” , 6” & 8”
                                         Thickness:70 ~ 750 um
Wafer Type                        Si , GaAs Single Flat, Double Flat or V-Notch
Tape Type                          Blue Tape or UV Tape
Frame Type                        6” DISCO or K&S, 8” DISCO or K&S; or Customer Specified 
Mounting Theory               Vacuum Mounting or Roller Mounting
Wafer Place Accuracy         X-Y: +/- 0.5 mm Θ : +/- 0.5°
Input & Output                  Dual Input Wafer Cassette / Single Input Wafer Box (Optional)
                                          Single Output Frame Cassette 
                                          Customer Specified (Sample Supply)
ESD Control                        Ion Fan
Wafer Transfer                    Horizontal Multi-link Robot with Bernoulli Endeffector
                                           Wafer Position & Warpage Intelligent Mapping in Cassette
Wafer Alignment                 Fiber Sensor for Wafer Alignment
Control Unit                        Standard Industrial PC with 17” Touch Panel LCD / Windows O/S
Power Supplier                    Single Phase AC 220 V, 25A
Air Supplier                         60 PSI CDA , 2.5 CFM
Machine Construction         Made of Full Aluminium Profile
Dimensions                         1350 mm (W) × 1200 mm (D) × 1750 mm (H)
Net Weight                         500 Kg



全自动晶圆贴膜机STK-7200V性能：
Mounting Quality                No Air Bubble (not include particle bubble)
UPH                                    >= 60 PCs Wafer
MTBF                                  > 168 Hours
MTTR                                  < 1 Hour
Down Time                         < 3%
Conversion Time                 <= 15 Minutes



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