【三维表面形貌仪】三维光学轮廓仪的使用原理？

时间：2021-05-08

三维光学轮廓仪是利用白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。它的显著特点是可以达到纳米级的检测精度，并可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测，其主要用途是用于成品的质量管理，确保良品合格率。可广泛应用于各类精密工件表面质量要求较高的如：半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量，除了三维光学轮廓仪，没有其它的仪器设备可以达到其精度要求。

三维光学轮廓仪采用白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。

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【三维表面轮廓仪】轮廓仪的简介
轮廓仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器，作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分广泛。功能可测量各种精密机械零件的素线形状，直线度、角度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽等参数。适用范围本系列仪器广泛应用于机械加工、电机、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间。可测轴承、滚针、滚子、电机轴、曲轴、圆柱销
影像测量仪测量工件的原理
影像测量仪测量工件的原理影像测量仪的应用非常广泛，既可以满足被测工件的抽检，也可进行工件的批量检测。那么二次元影像测量仪在对工件进行测量时，是通过什么原理来完成的呢?二次元影像测量仪对平面的测量：影像测量仪的扫描可以为影像测量仪评价形状误差和排列工件提供更多数据点，而影像测量仪所用的时间比传统的点对点方法少很多。结果是影像测量仪组装的精度提高，这一点可在总体测量精度的提高上体现出来。
浙大科学家提出三维光学**分辨成像新方法
近日，浙江大学光电科学与工程学院刘旭教授和匡翠方教授课题组提出了一种新颖的光学成像技术——多角度干涉显微镜（MAIM），实现了对生物体内活细胞的多色、长时程、高速和三维**分辨成像，为微管、内质网、线粒体和细胞膜等亚细胞器的生物动力学分析提供了有力的研究工具。这项研究发表在**期刊《自然·通讯》上。研究从诺贝尔奖开始沈复在《浮生六记》中曾写道，余忆童稚时，能张目对日，明察秋毫，见藐小之物必细察其
【一键式影像测量仪】一键式影像测量仪的优缺点
优点（1).测量速度较快，能在2到5秒内完成100个以内的尺寸的绘图、测量及公差的评价，效率是传统二次元影像测量仪的数十倍。(2). 避免了因测量行程增大而受到影响阿贝误差。重复测量精度高，解决了同一个产品反复测量数据一致性差的现象。(3).仪器结构简单，不需要位移标尺光栅尺，在测量过程中也不需要移动工作台，所以仪器的稳定性能很好。(4). 由于精度标尺