晶圆撕膜机STK-5150手动贴膜与自动撕膜

    晶圆撕膜机STK-5150手动贴膜与自动撕膜
    
    
    半自动晶圆撕膜机STK-5150规格:
    晶圆尺寸: 8” &12”晶圆;
    厚度:150 ~ 750微米;
    晶圆种类:硅、砷化镓;平边或V型缺口晶圆;
    撕胶膜种类:撕膜胶带;
    宽度:100~150毫米;
    长度:100米;
    撕膜角度:<45度,并且在 5°~45°可调节;
    撕膜温度:室温到100 ℃范围可调,控温精度+/-3℃;
    晶圆台盘:通用防静电特氟龙涂层接触式金属台盘;
                    带可控加热功能,温度MAX可达100℃;
                    台盘带吸真空功能;
    装卸方式:晶圆手动放置与取出;
    防静电控制:离子风扇;
    晶圆定位:弹簧销钉定位;
    控制单元:基于PLC 控制,并配有5.7”触摸屏;
    驱动单元:伺服马达驱动;
    安全保护:配置紧急停机按钮;
    电源电压:单相交流电220V,10A;
    压缩空气:5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟80升/分钟;
    机器外壳:白色喷塑金属外壳;
    机器指示:三色灯塔显示机台工作状态;
    体积:950毫米(宽)x1500毫米(深)x1800毫米(高);
    净重:300公斤;
    
    
    晶圆撕膜机性能
    晶圆收益:≥99.9%;
    撕膜质量:无裂片;
    每小时产能:≥ 80片晶圆;
    更换产品时间:≤ 5分钟;
    
    
    
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