50μm晶圆解键合机wafer debonder

    50μm晶圆解键合机wafer debonder
    
    
    
    50μm晶圆解键合机wafer debonder特点:
    4”-8”/8”-12”晶圆适用,可应对薄晶圆的解键合。
    解键合机智能测绘料篮内晶圆,兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料。
    解键合机可对已键合晶圆进行自动校正。
    可定制真空热压/UV/激光等方式实现解键合(Wafer Debonding)。
    晶圆解键合机配有高精度机械手,可自动撕除晶圆临时键合所用到的胶膜。
    解键合机可自动为晶圆贴覆切割膜。
    可选配嵌入式紫外线照射模块。
    工控机+Windows系统。
    SECS/GEM 或简易联网能力。
    
    
    wafer debonder_50μm晶圆解键合机规格参数:
    晶圆尺寸	                         4”-8”/8”-12”
    支持基板	                         玻璃
    激光/UV/加热器	         可选
    晶圆切割膜覆盖	         搭载
    解键合机撕膜模块	         搭载
    晶圆盒形式	         兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料
    其他	                          SECS/GEM 或简易联网能力
    
    
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    衡鹏供应
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