7134_ADT切割机/Dicing（多角度）

时间：2021-08-03

7134_ADT切割机/Dicing（多角度）

7134多角度切割机拥有 4" 高功率空气轴承主轴，30krpm时较高2.5KW。直流无刷电机，闭环速度控制。覆盖较高 12" 的圆形产品、12" x 9" 方形基板带框架或 12" x 12" 卡盘（不带框架）。
系统配有闭环转向台，针对多角度切割进行优化，适用各种产品，例如：
·陶瓷基板
·氧化铝
·混合物
·厚膜设备等

ADT切割机/Dicing 7134系统规格：
大面积系统配置：较高300mm x 300mm
刀片尺寸：4"-5"
主轴：空气轴承，直流无刷，30 krpm/2.5 kW
分度轴（y）
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机
控制：线性编码器
分辨率：0.2 μm
累积精度：1.5 μm
分度精度：1.0 μm
传送轴（X）
气动滑块
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配直流无刷电机
传送速度：高达 600 mm/sec
切割深度轴（z）
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机
分辨率：0.2 μm
精度：2.0 μm
重复精度：1.0 μm
行程：50 mm
旋转编码器
Z线性编码器 - 可选件
Z间隙高达3" - 可选
旋转轴
驱动：闭环、直接驱动、直流无刷
精度：4 arc-sec
重复精度：4 arc-sec
行程：350度





了解更多/wafer_dicer/ADT_7134.htm



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词条
词条说明
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