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3轴圆柱坐标洁净机械手臂适用于半导体,可晶圆搬运 3轴圆柱坐标洁净机械手臂特点: **洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列 适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运 全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求 比MHR系列具有更好的性价比优势 机械手臂标准臂长:160mm, 200mm 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式:RS232C及并
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公司名: 深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
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