为什么要使用三氟化氮检测仪？三氟化氮有什么危害？

时间：2022-02-21

为什么要使用三氟化氮检测仪？三氟化氮有什么危害？

三氟化氮（nitrogen trifluoride）化学式NF₃，在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

（东日瀛能 SK/MIC-600-NF3-Y 在线式三氟化氮检测仪）

三氟化氮是低毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼，使牙齿生黄斑，骨骼成畸形。具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和**物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解，甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡，但出现高铁血红蛋白血症，当吸入10000ppm·l小时有死亡，在2500ppm时吸毒后4小时死亡。较高容许浓度：10ppm(29mg/m3)。

如何才能不**过这个10ppm浓度限制呢？就需要用到三氟化氮检测仪，使用东日瀛能三氟化氮气体浓度检测仪可以检测其浓度，固定式三氟化氮检测仪安装于气体较易泄露的地点，其核心部件为气体传感器，当三氟化氮泄露后挥发出来的气体传感器接触反应，固定式三氟化氮监测仪便会启动自身的报警功能声光报警，警醒工作人员。

（东日瀛能 SK/MIC-800-NF3-Y 便携式三氟化氮检测仪）

工作人员另外可佩戴便携式三氟化氮检测仪。便携式三氟化氮泄漏检测仪可连续检测作业环境中三氟化氮浓度。采用进口电化学传感器，具有很好的灵敏度和出色的重复性；三氟化氮检测仪采用嵌入式微控制技术，菜单操作简单、功能齐全、可靠性高。

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词条
词条说明
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1、称重法通过抽气泵取一定量的含尘空气，经过已称量的滤膜，将粉尘阻留在滤膜上，通过天平称量滤膜重量，根据采样后滤膜的粉尘增量，计算出作业场所中的粉尘浓度。2、光电测尘仪利用光吸收原理而设计，通过抽气泵抽取一定体积的含尘空气，将粉尘阻留在滤膜上，通过发射光源（红外线或白炽灯）产生的光束透过滤膜照到硅光电池上，硅光电池接收照度的变化引起输出电流强度的变化，两者呈线性关系，从而换算出粉尘浓度。3、光散射
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