ATL Lasertechnik准分子激光器ATLEX-500-I

时间：2022-06-08

作者：天津瑞利光电科技有限公司

天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国ATL Lasertechnik准分子激光器ATLEX-500-I

产品型号：ATLEX-500-I

关键字：ATL Lasertechnik准分子激光器ATLEX-500-I

关键字描述：ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源，专为中低占空比应用而设计。

产品介绍：

软电晕预电离

高压固态脉冲发生器

激光头体积<3l

TMC（全金属陶瓷）容器

集成真空泵和卤素过滤器

风冷/可选液冷，主动热管理

RS-485，RS232，USB和光纤接口，用于系统集成

可冲洗光学支架

能量稳定模式

新一代紧凑型风冷，高重复频率的准分子激光器，专为中低占空比应用而设计。

参数：

气体介质	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF
波长 nm	157	193	248	308	351
高压开关技术	固态开关
重复率max. Hz	1	10	15	8	7
脉冲能量max. mJ	0.5	4.0	6.5	3.0	2.5
平均功率max. W	500
脉冲持续时间 ns	5-8
光束尺寸（V x H） mm	4 x 6
光束发散角（V x H）mrad	1 x 2
能量稳定性（标准偏差）%	< 3
尺寸（长x宽x高）mm	540 x 470 x 370
重量 kg	60
冷却	冷却空气/可选液体
电源要求	230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz

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