美国Aerotech振镜

时间：2022-06-13

作者：天津瑞利光电科技有限公司

天津瑞利光电科技有限公司优势经销美国Aerotech振镜AGV14SPO

产品型号：AGV14SPO

关键字：AEROTECH振镜AGV14SPO

关键字描述：

产品介绍：

比传统的2D扫描仪更大的视野简化了对较大零件的处理

在整个视场中将光斑失真降至更低，从而将高质量的激光加工零件的加工偏差降至更低

空气和水冷却选项提供热稳定性并提高长期精度

适用于各种激光波长的多种镜面处理选择

Aerotech的AGV-SPO单枢轴检流计扫描仪提供了传统两镜振镜扫描仪的替代产品。 AGV-SPO源自流行的AGV-HPO扫描仪，可为关键的激光微加工应用提供更大的视野并减少点畸变。

大视野，光斑失真更小

*特的光学设计可有效控制光束入射光瞳，使其与X和Y扫描仪运动保持一致，从而增加了扫描仪系统的有效数值孔径。这种设计直接为给定的焦距提供了更大的视野，并减少了整个工作区域上的光斑失真。这些优势意味着AGV-SPO能够更快，更一致地处理大型零件。

设计配置

AGV-SPO可提供多种光学涂层和聚焦光学器件，以支持各种常用的激光波长和焦距。为了满足其他需求，Aerotech可以根据要求为AGV-SPO提供定制的光学元件和光学安装功能。AGV-SPO可以配置有风冷镜，水冷电机或两者。这些主动冷却功能有助于在存在由激光引起的热干扰以及剧烈运动的情况下，保持工作平面的准确性。

编程功能

AGV-SPO利用了Aerotech的所有运动和位置同步输出（PSO）功能，这些功能是针对具有传统振镜和伺服平台的激光加工应用开发的。诸如“加速限制”之类的轮廓功能可用于自动降低急转弯或小半径时的速度，以大程度地减小过冲。可以基于带有PSO的反射镜的位置反馈来触发激光，以确保在扫描仪改变速度时始终保持一致的光斑重叠。Aerotech的无限视场（IFOV）功能无缝地结合了伺服和扫描仪的运动，从而在整个伺服平台的整个行程范围内扩展了扫描仪的标记功能，从而消除了在更传统的移动重复曝光过程中可能发生的缝合错误。

参数：

光束孔径：14 mm

扫描角度：max.±20°

光束位移：35 mm

抖动（增量运动min.）：0.3 µradRMS

精度：50 µrad pk-pk

重复性：0.6 µradRMS

增益误差：0.05 mrad

非线性：0.005％

跟踪误差：0 µsec

峰值加速度：60,000 m/s²

连续加速：20,000 m/s²

定位速度：50 m/s

处理速度：5 m/s⁵

跳跃和稳定时间，移动1 mm：700 µsec

稳定性

长期漂移

偏移：10 µrad/12 hrs

15 µrad/24 hrs

增益：10 ppm/24 hrs

热漂移

偏移：20 µrad/°C

增益：1 ppm/°C

材料：铝（黑色阳极氧化和蓝色喷漆）

MTBF（平均无故障时间）：20,000

重量：5.1 kg

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