美国COHERENT准分子激光器

时间：2022-06-28

作者：天津瑞利光电科技有限公司

天津瑞利光电科技有限公司优势经销美国COHERENT准分子激光器VYPER

产品型号：VYPER，TwinVYPER，TriVYPER

产品介绍

VYPER 系列激光器是专为准分子激光退火 (ELA) 设计的多光束高功率准分子激光器。高分辨率移动显示器制造的高质量需求需要高品位低温多晶硅 (LTPS)，该多晶硅 (LTPS) 只能使用准分子激光器制造。

这些激光器非常适合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光学器件。

性能特点

l 非常高的UV 功率，可实现高通量应用

l 能量稳定性，确保高产量

l EquiSwitch 同步提供低的抖动

l 激光数据采集可实现过程控制

l 密封和净化的光束路径，可实现稳定的长期运行

l 用于控制和快速数据采集的以太网接口

词条
词条说明
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