ATL Lasertechnik紫外线光源-ATLEX-S

    天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国ATL Lasertechnik紫外线光源ATLEX-S

    产品型号:ATLEX-S

    关键字:ATL Lasertechnik紫外线光源ATLEX-S

    关键字描述:ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源,专为中低占空比S应用而设计。

    产品介绍:

    **紧凑的尺寸

    软电晕预电离

    高压固态脉冲发生器

    激光头体积<3l

    TMC(全金属陶瓷)容器

    集成真空泵和卤素过滤器

    完全风冷,主动热管理

    RS-485,RS232,USB和光纤接口,用于系统集成

    可冲洗光学支架

    能量稳定模式

    ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源,专为中低占空比S应用而设计。

    参数:

    气体介质 ArF KrF

    波长 nm 193 248

    高压开关技术 固态开关 固态开关

    重复率max. Hz 300 500 300 500

    脉冲能量max. mJ 10 10 15 15

    平均功率max. W 2.4 4 4 6

    脉冲持续时间 ns 5-8

    光束尺寸(V x H) mm 4 x 6

    光束发散角(V x H)mrad 1 x 2

    能量稳定性(标准偏差)% < 3

    尺寸(长x宽x高)mm 630 x 400 x 300

    重量 kg 65

    冷却 空气

    电源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

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