Cyber Technologies厚度测量仪~CT 350T

    天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国Cyber Technologies厚度测量仪CT 350T

    产品型号:CT 350T

    关键字:Cyber Technologies厚度测量仪CT 350T

    关键字描述:运动系统使用快速,准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器,可以将检查时间更小化。

    产品介绍:

    快速准确的双面扫描系统

    测量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz

    x和y方向上移动300 mm(200 mm),横向分辨率为50 nm,电动z轴分辨率为20 nm

    2D轮廓,3D地形图和3D厚度图

    扫描范围大

    x,y,z分辨率,行程为max.300 mm(200 mm)

    零件厚度max.80 mm

    彩色白光传感器

    高分辨率离轴相机

    CT 350T是一款非接触式双面光学轮廓仪,具有300毫米x,y扫描台。**部和底部传感器安装在行程为100 mm的高精度Z轴上。双面自动对焦功能甚至可以测量严重弯曲或弯曲的零件。两个传感器均收集与x,y编码器信号同步的高度数据,并轴向对齐以确保精确的差分厚度测量。该软件同时从**部和底部表面生成2D轮廓和3D贴图,并计算相应的总厚度轮廓或贴图。

    运动系统使用快速,准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器,可以将检查时间更小化。通过在平台孔上安装转接板,该系统可以用作标准光学表面轮廓仪,使CT 350T成为功能广泛的表面和厚度测量系统。该系统也有较小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常适合8英寸晶圆或基板和太阳能晶圆。

    参数:

    集成系统控制器:包括运动控制,传感器控制器(4 kHz),电源,工作站的USB接口

    工作站电脑:查询当前规格,22英寸宽屏显示器

    连接方式:以太网,DVD驱动器,USB(正面和背面),并行端口,键盘,鼠标,DVI和模拟视频输出

    电源要求:100-240 V AC,50-60 Hz,2.0 A(240 V),5 A(100 V)

    测量表面尺寸:300 x 300 [mm](12 x 12 [in])

    线性编码器分辨率

    X,Y:50 nm(2μin)

    Z:5 nm(0.2 µin)

    横向分辨率:1微米(载物台分辨率:50 nm)

    X和Y的行程限制(电动):350 x 300 [mm](13.8 x 12 [in])

    Z行程限制(电动):100 mm (4 in)

    平台上的负载:max.10 kg

    可用的传感器:共焦白光传感器

    工作温度:18°-20°C(64°F – 68°F)

    尺寸(长X宽X高):1290 x 1082 x 1425 [mm](约43 x 51 x 56 [in])

    重量:650 kg (1.433 lbs)

     

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