Aerotech空气轴承直驱旋转平台

时间：2022-08-31

作者：天津瑞利光电科技有限公司

天津瑞利光电科技有限公司优势经销美国Aerotech空气轴承直驱旋转平台ABRS

产品型号：ABRS150MP

关键字：AEROTECH空气轴承直驱旋转平台ABRS

关键字描述：Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以**薄的外形提供了角度定位，速度稳定性和误差运动性能。

产品介绍：

直接驱动，无槽，无刷伺服电机

零齿槽电机，速度稳定性

误差运动和摆动性能

直联式高精度旋转编码器

薄型平面设计

没**械接触

Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以**薄的外形提供了角度定位，速度稳定性和误差运动性能。ABRS旨在满足晶圆检查，高精度计量，X射线衍射系统，光学检查和制造以及MEMS /纳米技术设备制造的严格要求。

紧凑包装

ABRS系列直接驱动旋转平台的设计已经过优化，可大程度地减少平台高度。平台的低矮外形降低了系统的有效工作高度，从而减少了与“堆积”有关的错误。除了较低的总高度外，ABRS系列还提供了一个通孔，可用于产品直通，激光束传输，电缆间隙或特定应用的要求。

机械设计

ABRS设计具有大的空气轴承表面，具有很高的刚度和承载能力，不仅产生轴向和径向误差运动，而且产生的倾斜误差运动。所产生的面误差运动明显优于其他旋转式空气轴承工作台和主轴，受益于需要平面性能的应用。

无刷直驱

为了更好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列无槽无刷电机。电机采用磁路设计，可产生高扭矩输出，而产生的热量少。无槽设计本质上是零齿槽和无转矩纹波。这使得ABRS位移台非常适合需要低速或高速扫描速度的应用。

准确定位

光学编码器是ABRS的标准配置。与Aerotech的反馈乘法器和控件配合使用时，分辨率可达到<0.03弧秒。

定制设计

定制版本的ABRS可用于费率表和惯性制导试验台应用。

参数：

宽度：150 mm

桌面直径：128.1 mm

高度：80 mm

孔径：8 mm

总行程：360°连续

总线电压：80 VDC

基本编码器分辨率：3600行/转

转速：max.300 rpm

精度：±3角秒

双向重复性：<2弧秒

负荷

轴向：8 kg

径向：4 kg

倾斜：3 N-m

轴向误差运动（同步）：<175 nm

径向误差运动（同步）：<450 nm

倾斜误差运动（同步）：<9.7 µrad（<2.0弧秒）

轴向误差运动（异步）：<20 nm

径向误差运动（异步）：<20 nm

倾斜误差运动（异步）：<0.4 µrad（<0.08弧秒）

工作压力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）

空气消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）

材料：铝

表面：硬涂层（62洛氏硬度）

惯性卸载：3850 kg-mm2

总质量：4.8公斤

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