常用测试压力、泄漏量单位换算表

    一、压力为单位面积所承受的力

    压力:**压力 、表压力 、大气压力。相互关系:**压力=表压力+大气压力

    **压力:当压力表示与完全真空的差。测量处的实际压力。

    表压力:当表示其气体数值与该地域大气压力的差值。

    大气压力:由大气重量所产生之压力,标准大气压力为29.92″寸柱压力

    二、常用压力换算:

    注:毫米水柱是指4摄氏度状态的水柱高度,毫米柱是指0摄氏度状态的水柱高度。 1mmAg = 9.80665Pa = 0.0980665hPa;

    1atm = 760 mmHg = 1013hPa 1mmAg = 0.0735793mmHg。

    二、流量单位

    nl/min是气流量单位,1NL/min=0.060标立方。NL是指在0摄氏度1个标准大气压下的气体体积;NL/min则代表在0摄氏度1个标准大气压下每分钟通过的的气体体积,即气流量。

    N代表标准条件,即空气的条件为一个标准大气压,温度为0℃,相对湿度为0%。Nm³/h是在0度,1个标准大气压下的标准流量,Nm³/h通常叫标立方,是标准状态下的排量;1000 NL/min=1Nm3/min=60Nm3/min,即1NL/min=0.060标立方。

    L/min与NL/min区别:L/min是升每分钟,NL/min是标准升每分钟;没有换算关系,NL/min强调是标准状况下,也就是0度,1个大气压。

    L/min与NL/min对比:

    1、L/min就是L/min是升每分钟,一个普通的流量单位。流量,是指单位时间内流经封闭管道或明渠有效截面的流体量,又称瞬时流量。当流体量以体积表示时称为体积流量;当流体量以质量表示时称为质量流量。单位时间内流过某一段管道的流体的体积,称为该横截面的体积流量。简称为流量,用Q来表示。

    2、NL/min

    NL/min读作标准升每分钟,意思是20摄氏度,1大气压的标准状况下的流量是每分钟多少升。

    换算例子;

    流量=300L/MIN 换算成每小时多少立方 (液体水)

    三、气体流量sccm和cc/min的区别:

    SCCM是指标况下的泄露量 (标况不是指测试状态是在恒温恒湿,而是指气体状态的23摄氏度 一个大气压时的气体体积) 因为此时的气体密度是已知的, 所以也叫做质量流量。

    大多数压差式测漏仪 输出的单位显示是sccm还是cc/min 其实都是sccm 两者无差异

    1ml/min=1sccm

    sccm是体积流量单位

    SCCM是标准立方米每分钟的缩写,是指在标准状态(即1个大气压,25℃)下每分钟1立方厘米(1ml/min)的流量,也就是说,SCCM是质量流量单位,不同于一般的流量单位。例如,1cc/sec是单位时间内通过的体积,而质量流量是单位时间内通过的气体摩尔数。这个单位通常用于化学反应,如CVD,为了精确控制原子组成比(理想气体公式:PV=NRT,在标准状态下,气体体积比等于摩尔比,所以只要控制气体的质量流量比,它等于反应气体的摩尔比)

    sccm和分钟立方厘米换算

    sccm——英文second cubic centimeter (秒立方厘米)的缩写符号。

    因为

    1min(分)=60s(秒)。

    1s=1/60min。

    1m=100cm。

    1m^3=10^6cm^3。

    1cm^3=10^(-6)m^3。

    所以

    1sccm

    =1s.cm^3

    =1/60min*10^(-6)m^3

    =1.6666666x10(-7)min.m^3

    ≈1.66667x10(-7)min.m^3(分钟立方米)。

    由此可知

    1sccm(秒.立方厘米)约等于1.66667x10(-7)min.m^3(分钟.立方米)。

     


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