扫描探针显微镜多功能组合探针系统研制

时间：2023-10-07

扫描探针显微镜是目**种用途广泛的表面分析仪器,它不仅广泛应用于物理、化学、生物、医学等基础研究领域,还在微纳制造和微电子等的应用研究领域中发挥着越来越重要的作用。然而,目前商业化的扫描探针显微镜主要为单一探针的工作模式,其功能相对单一,难以实现一些较为复杂的实验及检测功能。

例如,在特殊环境下(如真空或辐射环境)的微观磨损实验中,若采用单一探针模式,在完成磨损实验后,需要更换曲率半径更小的针尖才能对表面磨损区域进行原位的高分辨形貌扫描与观测。然而,在更换针尖的过程中,微观磨损的实验环境势必会遭到破坏,使试样暴露在大气中,由此引发的氧化、电化学作用、表面污染等将可能造成试验结果偏离真实,不利于对实验结果的科学分析。因此,亟需研发可用于原位实验和观测的扫描探针显微镜多探针原位检测系统,实现不同功能探针的协同检测与分析。

基于上述需求,本论文在扫描探针显微镜的平台上,通过设计高精度的移动平台、可长距离移动的多探针装夹装置、光学窗口以及系统各部分密封装置,开发出了一套、率、稳定性好的手动式多探针原位检测系统；在此基础上,进一步提出了具有更高探针定位精度、高自动化程度、集成拉曼光谱的多功能组合探针系统结构的设计方案。

基于上述研究,本文的主要工作及创新点如下：

(1)研制出了一套、率、稳定性好的手动式多功能组合探针原位检测系统。通过设计手动高精度平台、探针支撑结构、光学窗口以及系统综合密封,实现了多功能组合探针系统与扫描探针显微镜的有效匹配；在此基础上,设计和加工了手动式多功能组合探针原位检测系统。

(2)研制了一套简易的适用于真空长距离、复杂结构、大温差跨度的温度测量系统。针对SPI3800N扫描探针显微镜真空腔体结构特点,选择了铂热电阻传感器和XMT806型智能PID温控仪,并通过三线制接法由于导线自身电阻产生的温度测量误差。该系统适用于中低真空环境,具有结构简单,测量精准,成本较低等优点。

(3)为实现扫描探针技术-微区拉曼两种技术的联用,提出两种集成拉曼光谱的自动式多功能组合探针系统初步结构设计方案。根据设备的工作要求,选择合适的压电定位器,并通过探针载动圆盘结合探针夹具设计出探针平台；在此基础上,进一步给出拉曼物镜“外置式”和“内置式”两种多功能组合探针系统的设计方案。以上设备的研制,将有利于增强特定测试工况下微观摩擦磨损实验结果的真实性和可信度。相关的研究成果不仅有助于丰富纳米摩擦学的基础理论体系,还有望促进扫描探针技术应用的进一步拓展。

词条
词条说明
高低温探针台-解释塞贝克系数测量原理及系数
塞贝克系数（Seebeck Coefficient）也称为热电偶效应或Seebeck效应，是指两种不同导体（或半导体）材料在一定温差下产生热电动势的现象。塞贝克系数是研究热电材料（将热能转化为电能的材料）非常重要的一个参数，它用来衡量材料在一定温差下产生的热电压。塞贝克系数的测量方法有很多种，其中一种常用的方法是恒流法。首先准备一个热电偶，它由两种不同材料的导线组成。然后将热电偶的其中
扫描探针显微镜多功能组合探针系统研制
扫描探针显微镜是目**种用途广泛的表面分析仪器,它不仅广泛应用于物理、化学、生物、医学等基础研究领域,还在微纳制造和微电子等的应用研究领域中发挥着越来越重要的作用。然而,目前商业化的扫描探针显微镜主要为单一探针的工作模式,其功能相对单一,难以实现一些较为复杂的实验及检测功能。例如,在特殊环境下(如真空或辐射环境)的微观磨损实验中,若采用单一探针模式,在完成磨损实验后,需
真空封口机产品优势及主要问题解答
怎么判断哪些东西可以封？1，高温不熔化。2、高温下不与石英管产生反应。3、液体没办法抽真空，液体里又氧气。对封管机场地的要求？氢氧水焊机需要通风。石英管封口要预留多长？要留50mm-70mm（石英管内如果是熔点低物品，少70），夹头伸进去要30mm。封管机产品优势：1、每个设备出厂有经过氦质谱捡漏测试确保气密性 2、设备磁流体密封件接触气体部分采用陶瓷轴承高成本带来的是耐腐蚀（普
探针台精准控制关键技术研究
集成电路自动化装备-探针台是晶圆测试领域研究的热点。由于晶圆片上晶粒很小,达到微米级,所以要求探针台要保持很高的定位精度和运动精度才能保证探针与晶粒的准确对针和测试。因此,本文主要研究的问题是如何保证探针台高精密控制,从而达到微米级定位要求。本文来自于国家02专项-面向12”晶圆片的全自动探针台关键技术研究。首先,本文介绍了探针台两大部分-LO