小型金属溅射镀膜机优点

时间：2023-11-11

作者：郑州科探仪器设备有限公司

郑科探小型溅射仪功能优势

1、样品台旋转，多样品同时镀膜时，镀膜厚度比较均匀。

2、预溅射挡板功能，刚开始镀膜的时候腔室里会有些杂质，挡板可以保护样品，提高薄膜质量

3、带有水冷系统，可以长时间溅射镀膜，厚度可达1微米以上。

4、直流磁控溅射，提高附着力，溅射速率快，比离子溅射快上一个量级。针对某些金属快能达到1-2纳米每秒，

5、不但可以电镜制样，还可以制作金属电。

6、可扩展膜厚监测，监测薄膜厚度。

溅射仪使用需注

1 靶材需要良好的导电性, 如果具备这个条件可以镀

2 遇到氧化的金属需要配备分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氩气维持真空到1Pa左右镀膜的金属接近本色

词条
词条说明
你并不了解小型溅射仪
小型溅射仪的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B（磁场）所指的方向漂移，简称E×B漂移，其运动轨迹近似一条摆线。若为环形磁场，则电子就
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