性能指标:分辨率: 3.0nm (30kV, SE image) 10nm(3KV,SE image)????????????????? 4.0nm (30kV, BSE image) 可选放大倍数:10x~300,000x(WD=5mm)加速电压 0.5kV~30kV电子枪:三级自给偏压,偏压电阻可自动/手动调节,预对中发叉式钨丝阴极透镜系统: 三级电磁透镜 2 个聚光镜,一个园锥形物镜物镜光阑: 4 孔可变光阑,摇摆对中合轴图像电位移和电旋转: ±50 ? (WD: 10 ㎜); 0-360°无限样品室: 内径φ210mm ,可扩展接配EDS,BSE,WDS 等探测器样品台及行程:??计算机导航五轴自动机械对中样品台????????????????????????????? X: 65 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°较大样品尺寸:130mm(直径) X 71mm (高度)样品台控制方式: 自动/手动操作系统: PCI、USB 接口的PC 机控制, 奔腾4 兼容机,Windows XP, 19 英寸彩色显示器,图形用户界面(GUI)嵌入多种图像实时分析测量工具,鼠标键盘操作自动功能: 自动聚焦,自动亮度对比度,自动消象散,自动电子束对中,自动物镜光阑合轴,自动电子枪加饱和,自动电子枪偏压,动态聚焦,倾斜补偿。扫描模式:屏幕选区模式: 320 x 240 像素????????????????TV 屏幕扫描模式:640 x 480 像素??????????????? 全屏慢扫描模式: 800 x 600 像素 (3 档速度)??????????????? 分屏扫描模式:1200 x 600 像素 (SE BSE 双信号)????????????????全屏照相获取模式 1: 1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840 像素????????????????波形观察模式图像格式 JPG, TIFF, BMP语言 英语真空系统:全自动高真空系统,样品室处真空度优于1x10-5 Torr,真空度实时显示.涡轮分子泵260 升/秒 + 旋片式机械泵100L/min外形尺寸和重量:主机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350 ㎏?????????????????????????????电脑桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏安装要求:电源 AC 220V, 60Hz, 2kVA地线:独立地线1 条,小于等于100Ω温度:15℃~30℃湿度:小于等于70 %交流磁场:小于等于0.3 uT地面振动:5 um/sec Max.门宽 900mm 或更宽 如有需要请与我司联系 金溢电子(中国香港)有限公司 深圳市福田保税区英达利数码科技园B座210室 电话:0755-82838457/82838458 Q E-MAILL:1211991706@ 联系人:刘小姐13927481201
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