edwards分子泵报价常用指南「多图」

时间：2020-03-05

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真空泵漏油，一定要更换？

真空泵漏油到底需不需要更换，前段时间一朋友宝马x5去4S店检查，说是真空泵漏油，需要更换，一万多块一个，朋友回去考虑了下，还是去熟人的修理厂更换，会*点，结果一去到修理厂，人家说这漏油不是很严重，密封圈问题，几百块就可以搞掂。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。真空泵密封圈漏油可以分几种情况：

1.密封圈老化，更换密封圈

2.真空泵本身设计问题，必须更换

在面对不一样的问题时候应该用采用不一样的解决办法，而不是一致出现问题就更换，有些可能只是一个小零件坏了或者老化了，究其原因，漏油就更换的，要么是黑商，要么是技术不过关。选择修车时，可要注意黑商。

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Edwards nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，有ISO100和CF100两种入口法兰接口，对N2的抽速为240l/s。

性能特点

的转子设计，可以实现**的抽速和压缩比维护简便，用户可以在短时间内完成维护，*复杂的工具或拆卸设计紧凑，性能**，可以实现高效系统化与Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容，可加3个真空规，而*额外控制器符合RoHS，并通过CSA/UL认可.

爱德华STP-iXA3306CV_Edwards STP-iXA3306CV涡轮分子泵

EDWARDS STP-iXA3306CV分子泵用途：

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

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