应用领域 RGDL系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制,试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等,也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。 主要特点 采用精炼石英管或高纯**管作为炉膛,可拆卸的密封方式,具有良好的洁净度和真空度,耐火保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、低能耗。加热元件采用优质硅钼棒、硅碳棒或进口电阻丝;温度控制系统采用原装进口智能多段程序温度控制仪控制,具有良好的稳定性、均匀性。 技术指标 设备型号 温区个数 较高温度 加热区长度 炉管尺寸及材料 装机功率 RGDL(D)-2/80/44 2个 1100℃ 440mm Φ80石英管 5kw RGDL(Z)-1/60/30 1个 1400℃ 300 mm Φ60刚玉管 8 kw RGDL(G)-3/60/60 3个 1650℃ 600 mm Φ60刚玉管 18 kw RGDL(D)-1/50/70 1个 1200℃ 500 mm Φ70石英管 8 kw RGDL(Z)-2/30/60 2个 1400℃ 600 mm Φ60高纯刚玉管 10 kw RGDL(G)-1/50/80 1个 1650℃ 500 mm Φ80高纯刚玉管 12 kw 备注:RGDL系列管式炉全部可以按照客户要求通入各种惰性、还原性、反应性气体,通过浮子流量计或质量流量计控制气体通入量。同时还可以通过单机机械泵或真空机组预抽真空,系统具备冷态极限真空6.67×10﹣² Pa 。
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