电浆清洗机清洗**场效应晶体管(OFET)材料的重要性

时间：2023-02-28

**场效应晶体管(OFETS)是一种有源装置，它能够通过改变栅较电压来改变半导体层的导电特性，然后操纵通过源漏较的电流。**场效应晶体管作为电路中的基本元件，以其低功耗、高阻抗、、可大面积生产等优点，受到了广泛的重视，并得到了迅速的发展。其组成元器件主要由电极、**半导体、隔热层和基板组成，这些元件对OFET的性能有很大影响。通过电浆清洗机对电极、**半导体、绝缘层和基片进行处理，提高了材料的功能。

1、基片衬底——电浆清洗机等离子处理，除去基片表面杂质，改善表面活性

基片一般在晶体管的底层，首部起着支撑作用。可用作OFET的基片材料：玻璃、硅片、石英、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯萘(PEN)、聚酰(PI)、聚乙烯(PET)等。无机基板有高熔点、表面光滑的优点，如玻璃、硅片、石英。虽然表面看起来很粗糙，但是这些数据显示了像聚乙烯萘(PEN)和聚乙烯(PET)这样的弹性可弯曲材料。电浆清洗机处理的衬底需要在准备阶段对衬底进行处理，以去除衬底表面杂质，提高表面活性。

2、电极处理-电浆清洗机等离子处理

在**场效应晶体管(OFET)中，电极是另一重要元件。通常认为，当**半导体层/电极界面的电势垒高度△E

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词条说明
?plasma等离子体能量密度对H2气氛下C2H6脱氢反应的影响
plasma等离子体能量密度为860 kJ/mol时，H2添加量对C2H6脱氢反应的影响：随着H2浓度增加，C2H6转化率，C2H2、C2H4和CH4收率均有所增加，这表明H2的加入有利于C2H6转化及C2H2、C2H4和CH4生成。产生上述结果的可能原因是：一方面氢气因其导热性好，可大量传递热量，在乙烷plasma等离子体中起稀释气体作用;另一方面氢气的H-H键断裂能为4.48eV，
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