无尘室分类的定义标准

时间：2025-01-16

无尘车间

为什么芯片制造业要使用无尘洁净室？

许多人可能不知道，在将硅片放入芯片制造商之前，他们需要一个特别干净的无尘室。单个晶体管比病毒小很多倍。一粒小灰尘会造成严重损坏，燃烧数百万美元。为了降低这一风险，芯片制造商选择将制造商放置在基本无灰尘的洁净室中。杰斐然空气过滤器将带您探索无尘室的奥秘。

在芯片制造过程中，任何小颗粒都会对成品率产生很大的影响。若无尘洁净室提高到更高水平，产量可大大提高。因此，芯片制造业的一项重要技术是无尘车间的清洁度，因此集成电路制造商投入大量精力改善无尘室环境，减少颗粒量。衣柜、衣服和无尘室的程序都有助于提高无尘室的质量。严格的无尘室规则有助于隔离污染物，降低成品率。

无尘室有多干净？

*初的无尘室是为医院手术室建造的，可以控制术后空气中感染的细菌污染。半导体工业发展后不久，工程师就意识到控制生产过程中污染物的重要性，因此在制造晶体管和集成电路时采用了无尘室技术。的罗伯特·诺伊斯制造的**个硅集成电路芯片显示了许多颗粒污染物。

无尘室分类的定义标准：

按公制和英制组合。定义为*十级的无尘室是指直径大于0的每立方英尺.5um小于10颗粒。一级无尘室必须达到每立方英尺，直径大于0.5um少于一颗粒。0.25um集成电路芯片厂的*小图形尺寸需要一级无尘室才能获得高成品率。相比之下，在一个干净的房子里，每立方英尺的直径大于0.5um5万颗粒。下图显示了不同等级无尘室每立方英尺空气中的颗粒数量。

严格控制无尘室的温度、湿度和气压：

无尘室的地板通常是一个非常高的孔框地板，这样空气就可以从天花板垂直流向制造和设备区域的底部区域。当气流返回无尘室时，大部分颗粒将通过颗粒空气过滤器去除。比100级（FED-STD-209E保持线性直线气流，避免空气干扰非常重要。空气扰流将墙壁、天花板、桌子和工具表面的颗粒带入空气中，使颗粒不易静止。但通过线性气流后，空气中的颗粒很快就会被气流带走。等级100是线性气流和扰动气流的分界线，也是无尘室成本的重点。扰动气流的清洁度可达100级以下，其成本低于线性气流。

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