无尘车间的空调只是为了降温吗

时间：2020-01-05

无尘车间的换气主要仰仗的便是空调的运行，那么无尘室空调与家用的空调有什么

不同，无尘室空调的特性又是什么呢?

温湿度要求低于普通空调

一般空调要求在18°C~26°C之间，相对湿度则在40%~65%之间;无尘室空调必须控制

在22°C~24 °C之间, 相对湿度则在45%~55%。

恒温恒湿控制

由于半导体制程对温湿度变化的大小较为敏感，故在无尘室大部分区域必须控制在

±1C 及±3% 之内。

所需的外气较多

由于半导体工厂中，制程系统需使用大量的化学品和毒气，这些化学品和毒气所产

生的挥发气体和废气必须予以全数排除，故排气量相当大，为维持无尘室压力比外面的

大气压力大，此时所补充的空气量亦随之增加。

空调系统24小时全天运转并监控管理

半导体工厂部分制程设备，对温湿度变化较为敏感，如黄光区Stepper光学机台，些

微的温、湿度变化均会使设备的准度偏差，另外芯片等产品也必须置放在定温定湿的环

境下，故空调系统必须24小时监控管理之。

半导体厂无尘室室内压力大小

半导体厂无尘室室内压力必须比室外高些许，除了为避免室外的温、湿度、微粒影

响无尘室生产区的环境条件外，并可延长无尘室ULPAfilter的寿命，但不能无条件增加

，如此将使向外逸散的洁净空气增加而增加运转成本。

气流分布要求均匀

无尘室空调为带走无尘室内所产生的微尘粒子以维持洁净度故除了气流速度须达到

一定之要求标准外，气流的流线形状也必须依不同的无尘室等级加以适当的控制。

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词条说明
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