HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机

    某品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空只要对泵内部进行破真空即可.


    E-Beam 镀膜机设备组成系统主要由蒸发室电子进样室 (可选) , 旋转基片加热台工作气路抽气系统真空测量电控系统及安装机台等部分组成.

     

    基片在做实验**般需要做镀前预处理镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面为后获得高质量镀层作准备要进行脱脂去锈蚀去灰尘等工作也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉得到光滑和均匀的表面.

     

    若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

    上海伯东 : 罗先生                               


    伯东企业(上海)有限公司专注于pfeiffer,氦质谱检漏仪,inTEST等

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