HVA 真空阀门 11000 用在 OLED 镀膜机

    国内某 OLED 镀膜机厂家配置伯东美国 HVA 真空阀门 11000 系列,尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,
     

    HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格

     

    下图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 真空阀门

     

    OLED 镀膜机主要面向半导体照明客户需要镀膜机性能稳定器件效率高性价比高,

    对于生产 OLED 镀膜机的客户为了节省抽空时间和防止基片的污染会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样由于两腔室工作的真空度要求不同会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.

     

    伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机
     

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    上海伯东 : 罗先生


    伯东企业(上海)有限公司专注于pfeiffer,氦质谱检漏仪,inTEST等

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