四甲基氢氧化铵浓度检测

时间：2018-08-11

四甲基氢氧化铵(TMAH)，在电子行业中广泛用作TFT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程**纯清洗剂，同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展，PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序—显影，直接影响着线路品质及阻焊的品质，显影的品质要求不能有显影不净，不能有显影过度，不能有掉线和绿油脱落等，显影露铜点50% ~ 60%(一半显影段)。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。
根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液调配稀释到目标浓度2.38%，需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量，已达到精确配置目标浓度显影液的目的。目前国内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度，测量过程大概需要20分钟时间，该方式不具备实时性，过程管道的浓度变化无法及时监测到，导致调控滞后。为了提高生产量，显影液的配对效率需要提高，缩短配比的时间，需要在线实时对TMAH的浓度进行监控，完善工艺控制要求。采用临界角全反射原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求，且测量精度高。
? 四甲基氢氧化铵(TMAH)在线浓度计利用临界角全反射的原理测得溶液的R.I.，R.I.与TMAH溶液的浓度有较好的对应关系。通过换算从而得到溶液的实际浓度。这种测量原理稳定性好，精度高，它适用于管道安装或容器壁处的安装，以及其它等多种安装方式。
楚一测控CY-520-TMAH在线浓度仪是根据临界角测量原理设计的一种新型连续在线监测仪，由于仪表的传感器检测元件与被测介质直接接触，且没有较化效应，故该仪表可广泛应用于半导体、TFT-LCD、化工、环保等工业液流中，连续在线测量TMAH、TMACL、H2O2、NAOH等强腐蚀性介质浓度，拥有一般浓度仪表无可比拟的优点。
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楚一测控CY-520-TMAH在线浓度仪技术优势
1、 集成浓度、温度双通道信号输入及控制，3.5英寸点阵高亮度液晶显示屏； 
2、强大的控制功能，上下限控制，报警输出等； 
3、内置4路开关量输出及继电器输出用来控制执行机构； 
4、RS485通讯输出，MODBUS RTU通讯协议； 
5、可以自定义控制方式，清洗方式，自动清洗时间以及清洗间隔时间； 
6、内置EEPROM，所有参数*保存在主机，掉电不丢失； 
7、内置传感器自诊断功能，可能的故障一目了然； 
8、内置实时曲线，方便追溯历史数据； 
9、内置USB2.0端口，数据导出非常方便； 
10、内置4路继电器报警输出 
11、标准以太网通讯接口：RJ45（选配） 
12、嵌入式仪表盘安装，方便系统集成； 
13、环境温度 0--50℃； 
14、电源： 220VAC、50HZ ，功耗：≤10W； 
15、紧凑型设计，外围尺寸仅为160(W)×80(H)×100(D)以及0.5Kg的重量

词条
词条说明
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