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    磨料粒度:磨料粒度越粗,研磨切除量越大,表面粗糙度越低。游星轮厂家与您分享树脂铜盘主要是由铜粉、填充料和树脂组成,由于铜比较软,当硬质大颗粒进入加工区域时,大颗粒可以嵌入到树脂铜盘中,这样可以是大颗粒与磨料处于同等高度。对研磨量和磨削比来说,PI-RVD-270/325-75%和PT-RVD-W28-75%间的差异,表明磨料粒度越粗,对研磨影响程度越大,这一差异与研磨转速关系不大。对表面粗糙度而言,PI-RVD-W14-75%和PI-RVD-W28-75%间的差异,受研磨转速影响不大。

    这可以大致说明,随磨粒粒度变大Ra由**下降转为较慢变化。在PI-RVD-W14-75%表明表现出明显的塑性变形沟痕和平坦的表面

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    为了获得更高的去除效率和更小的TTV,我们提出一种值得探讨和参考的方案:用粒径更小的研磨砂(牌号为W40的B4C,粒径~26 um),在相对更大压力条件下(110~190 g/cm2)研磨;研磨后考虑到衬底片背面粗糙度的要求,可再用240#研磨砂做轻微处理,使粗糙度增大。高速高压密封条件下磨粉液温度升高有的工厂磨粉液温度甚至达到80-90度。针对此方案,本工作将对比240#及W40 B4C水砂浆在系列大压力条件下,对C向蓝宝石的去除率效率、晶面质量及TTV等效果的影响。


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    研磨机属于典型的自动化设备,它的结构包括工件工作台进给机构、工件调整机构、研磨轮进给及压力控制机构和自动控制系统四大部分。研磨加工过程就是利用游离磨粒对零件表面进行刮削和挤压去除材料的过程,达到提高平面度和降低表面粗糙度的目的。

    PLC的出现,为研磨机、抛光机的飞跃做出了很大的贡献,可以说是一个质的改变。它取代了传统的继电器,在新的发展中占了很大的比重。



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