恭祝ZN硅业NPE3500型PECVD顺利验收

时间：2025-02-06作者：那诺-马斯特中国有限公司浏览：385

                
																    						品牌
						LM
																							型号
						KFC--A12-02
						   											    						较高电压
						12（V） 
																							额定发热电流
						0.5（A） 
						   											    						用途
						广泛
																							产品认证
						ROHS
						   																			
			
        
		
				    
	    	    	    						    						 										


那诺-马斯特中国有限公司专注于磁控溅射系统,刻蚀系统,清洗去胶系统等

• 词条

  词条说明

• *远程微波PECVD系统

  Nano-Master的远程微波等离子体化学气相沉积（PECVD）系统应用范围广泛，包含：基片或粉体的等离子诱导表面改性等离子清洗粉体或颗粒表面等离子聚合SiO2,Si3N4或DLC及其他薄膜CNT和石墨烯的选择性生长单晶或多晶金刚石生长   微波模块：NANO-MASTER高质量**命远程微波源，频率为2.45GH，微波发射功率可以自主调节，微波反射功率可通过调节降

• 详解磁控溅射技术

  一、磁控溅射的工作原理：磁控溅射是一种常用的物理气相沉积（PVD）的方法，具有沉积温度低、沉积速度快、所沉积的薄膜均匀性好，成分接近靶材成分等众多优点。磁控溅射的工作原理是：在高真空的条件下充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使氩气发生电离（在高压作用下Ar

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