特种气体系统的设计与施工

时间：2023-07-05

作者：广州市旺气贸易有限公司

前言：一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。

一：概念

特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、**次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。

其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点

二：分类

特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。

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词条
词条说明
如何预防给人体带来的危害？
日常生活中，尤其是天气炎热的夏季，要更加注意室内的通风，不要处于一个密闭的环境之下。为避免意外，应安装气体仪当浓度**过国家规定值的时候进行声光报警，并且根据现场联动风机，避免意外发生。应用于各种气体泄漏的场所，如:食品加工车间、实验室、钢铁生产车间、树脂橡胶生产车间、化肥生产车间、制药厂、灯泡充气车间、医院手术室、储存的仓库、铝制品厂、排气管道、特殊工业厂房等领域。
乙炔对健康的危害
乙炔对人体的危害是具有弱麻醉作用。急性中毒的表现为：工人接触10%～20%乙炔时，可引起不同程度的缺氧症状，出现头痛、头晕、全身无力等;吸人高浓度乙炔，初期为兴奋、多语、哭笑无常，后眩晕、头痛、恶心和呕吐，共济失调、嗜睡等;严重患者出现昏迷、紫绀、瞳孔对光反应消失、脉弱而不齐。由于乙炔气体易燃易爆且对人体有害，因此，乙炔泄漏是一个非常严重的问题，需要各大工业安全处理防患，使用乙炔可燃气体报警器可以
高纯度运用
在电子中，高纯度运用十分广泛。在半导体与集成电路制造与生产过程中，需要高纯对其进氛保护与清洗，保证半导体与集成电路的质量；在半导体电池和电子合金材料等中，高纯被用于电子产品的封装、烧结、退火、还原、储存等环节；在大规模集成电路、彩电显像管液晶以及半导体原件的处理中，高纯被用于十分重要的源；在单晶硅、多晶硅与一些外延产业中运用高纯，不仅能够提高生产效率，还有效提升了产品质量；在电子行业中的磁材行业塑
二氧化碳的研究和应用主要集中于哪些方面
目**氧化碳的研究和应用主要集中于三个方面：一方面是汽车空调领域，由于制冷剂排放量大，对环境的危害也大，必须尽早采用对环境无危害的制冷剂;第二方面是热泵热水器，二氧化碳在**临界条件下放热存在一个相当大的温度滑移，有利于将热水加热到一个更高的温度;第三方面是考虑到二氧化碳良好的低温流动性能和换热特性，采用它作为复叠制冷循环低温级制冷剂。在复叠式制冷系统中，二氧化碳循环在亚临界条件下运行。此时二氧化碳